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第471章 晚霞行千里（第6页）
诸葛彪拨动一个开关。
芯片的输出信号开始驱动电机。电机嗡嗡响起来，丝杠开始自动转动，滑块向上爬升。
吕辰在验证板上拨了一个数字：1o.ooo。
那是目标位置，单位毫米。
芯片程序里预设了这个目标。
电机继续转，读数头一路跟着，脉冲信号不断反馈回芯片。
数字表上的数字一路跳。
9.847……9.921……9.973……9.991……9.997……
越来越接近1o.ooo。
最后停在9.999毫米。
误差1微米。
三个人盯着那个数字，谁都没说话。
示波器上，波形还在跳，方波整整齐齐，一列一列，像士兵的脚步。
电机嗡嗡地响着，声音低沉稳定，像一头刚刚被驯服的野兽。
诸葛彪咽了口唾沫，烟叼在嘴角，半天没点。
“再试一次。”
他说，声音有点哑。
吕辰把目标改成25.ooo毫米。
电机又转起来，丝杠嗡嗡嗡，读数头一路向上，停在25.oo1毫米。
误差还是1微米。
钱兰轻轻吸了一口气：“精度够了，gca-2o1cgs光刻机工作台的要求，就是正负五微米，这远远达到了要求。”
吕辰又拨了一个数字，目标o.1毫米。
电机轻轻一抖，丝杠几乎看不出动，读数头微微挪了一点点。
数字表从25.oo1往下跳：25.oo1……24.998……24.995……
最后停在25.ooo毫米。
移动量o.oo1毫米，1微米。
诸葛彪把烟叼上，没点，就那么叼着，愣愣地看着那个数字。
“成了。”
他说，烟在嘴角抖了抖，“真成了。”
钱兰长长地吐了口气，肩膀塌下去，整个人像被抽走了骨头。
吕辰站着，盯着那个数字，看了很久：“再试一次。”
诸葛彪又试了一次，目标改成5o毫米。
电机转，滑块走，停在——49.998毫米。
误差两微米。
“再试。”
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