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十五条长轴线,加了二十三个缓冲器。
新版的面积,比原来大了18%,晶体管数量,多了272个。
“这版再流片,良率至少能到3o%。”
诸葛彪看着最终的版图,“如果片子质量没问题,可能还能更高。”
“3o%够了。”
钱兰说,“比8%强。”
她拿出一个册子:“这是gpmc-o1芯片次流片失效分析报告,大家看看。”
这是她整理的,这一个月来的所有数据。
失效芯片的坐标图,典型故障的显微照片,击穿点的版图对照,延迟测试的波形图,设计问题的清单,工艺问题的清单,原材料问题的分析报告……
她把这些资料一页一页归拢,一页一页核对。
写这份报告的初衷,第一次流片的经过,现问题的过程,分析问题的思路。
包括设计缺陷、工艺波动,以及延迟标背后的长线问题。以及这一个月来,他们是怎么一条线一条线地改,怎么一个晶体管一个晶体管地换,怎么一个缓冲器一个缓冲器地加。
她写得很详细,每一处改动的理由,每一个参数的取舍,每一次争论的焦点,都写得清清楚楚。
这份报告不仅仅是对过去的总结,更是对未来的教材。
那些后来者,那些也要经历第一次流片失败的人,可以从这份报告里,看到一条从失败走向成功的路。
此刻,报告已经被打印出来,装订成册。
封面是白色的硬纸,上面印着一行字:《gpmc-o1芯片次流片失效分析报告》。
下面还有一行小字:集成电路实验室,1966年1月。
三个人围坐在桌前,一页一页翻着这份报告。
六十颗芯片的坐标图,每一颗的故障类型都标得清清楚楚。
典型故障的显微照片,那些短路、击穿的痕迹,像一道道伤疤。
击穿点的坐标与版图对照,精确到微米。
延迟测试的波形图,每一张都有详细的标注。
最后是结论与建议。
设计问题:电源线与地线间距过小,晶体管尺寸偏小,长走线缺乏缓冲器。
工艺问题:氧化层致密性不足,掺杂浓度波动大,洁净度有薄弱环节。
原材料问题:晶圆存在位错密度高的缺陷带。
下一版改进方案:缩窄设计规则,加大晶体管尺寸,增加缓冲器;优化氧化工艺,调整掺杂工艺,加强来料检验。
诸葛彪翻完最后一页,长长地吐了一口气:“这报告,够写一篇毕业论文了。”
钱兰笑了:“那你拿去答辩。”
……
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