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第391章 模拟线开建（第3页）

各位专家热烈地建言献策，讨论自然而然地转向了模拟线最核心的部分，设备。

陈光远清了清嗓子，作为分管技术的厂领导，也作为从长光所调来的专家，他掌握着关键资源。

“关于最核心的光刻设备，我们长光所可以提供两种。”

他介绍这两种设备，“一台是所里最早试制的接触式光刻机。极其简陋，完全手动对准，靠肉眼和手感。用它，不是因为它先进，恰恰是因为它落后，它可以用来磨练学员的手感、耐心和稳定性。在自动对准系统出现之前，顶级的光刻操作员，靠的就是这双手和这双眼睛。”

“另一台是5微米工艺的半自动接近式光刻实验机。这台设备相对先进一些，对焦和平台控制更精确。两台设备搭配使用，可以从最基础的手感培养，平滑过渡到设备操作。”

四川红光厂的雷工立刻响应：“那台老式手动光刻机不错，我建议配备一台高倍率显微镜，连接上电视显示器！让操作员在显微镜下对准的同时，他身后的团队成员、指导老师，都能在电视上同步看到对准情况。这样既能集体评判对准质量，也能实时进行教学指导，更是一个培养团队观察和协作的绝佳场景。”

“这个主意妙！”

成电的郑长枫拍了下桌子，“把个人操作，变成团队可视的公共事件。压力更大，学习效率也更高。”

接着是薄膜与掺杂区。

陈光远继续道：“扩散炉和化学气相沉积设备，我们可以协调提供一些早期型号的、已经退役或即将淘汰的老旧设备。性能可能不稳定，但结构完整，原理相通。”

吕辰插话：“对于这些老旧设备，我建议重点改造其控制系统。我们可以加装新的控制面板和数据采集系统。”

他顿了顿：“更重要的是，我们可以故意在控制逻辑里留下漏洞，或者设置一些可调节的参数，允许指导老师人为地、隐蔽地制造各种故障。比如让某个温区的温度梯度出现异常，让真空泵的抽缓慢下降，让气体流量出现周期性波动……”

北大的代教授点头：“这个主意不错，我们要训练的不是只会按按钮的操作员，而是具备异常诊断和应急处置能力的工艺工程师。设备不出问题，我们还怎么训练这种能力？所以，我们要让设备会出问题，而且是出各种精心设计的、有教学价值的问题。”

这个大胆的想法让在座不少人都倒吸一口凉气，但随即，更多人的眼睛亮了起来。

“对！就该这样！”

兰州大学的岳伴教授道，“故障注入，这是提高系统可靠性和人员能力的经典方法！在模拟线上用，太合适了！”

刻蚀与清洗区相对简单。

上海感光厂承诺提供一批耐腐蚀水槽和湿法操作台，并负责相关安全规范的制定和教学。

无机所的皮博士特别强调：“所有的化学试剂瓶、储存罐、管道，必须贴上极其醒目、严格分类的彩色标签。红色代表强酸，黄色代表强碱，蓝色代表有机溶剂，绿色代表纯水……标签系统本身就是一门重要的课程。这里不追求蚀刻率和均匀性，而是要练到每一个学员闭着眼睛，都能凭触觉和记忆，准确拿到正确的瓶子，完成标准的倾倒、稀释、搅拌动作。安全与一致性，高于一切。”

测试与封装区，由兰州51o所和兰州大学牵头。

孙专家说：“我们提供一批简易的探针台和电参数测试仪，数量可以多一些。这里的核心不是测试精度有多高，而是数据记录和分析的规范性。每一片模拟芯片测出来的数据，哪怕再离谱，也必须完整记录在统一的表格里。我们要教他们画控制图、分析数据分布、查找异常点。甚至可以故意混入一些有已知缺陷的样片，看学员能否通过测试数据把它们找出来。”

关于最关键的培训道具，硅片，半导体所的徐工给出了解决方案：“真正的、合格的半导体硅片太珍贵，不能浪费在练习上。但我们所里，有大量在生产研过程中产生的、有各种缺陷的报废硅片，甚至是一些规格不达标的降级片。这些，正好可以拿来教学、陪练。”

他进一步说：“在最开始的纯粹动作练习阶段，我们甚至可以使用更廉价的替代品，光学玻璃片、甚至粗糙的陶瓷基板。让学员在这些基板上重复进行涂胶、曝光、显影、刻蚀的练习，只为了掌握设备操作的要领，观察光刻胶、薄膜在不同条件下的现象。成本极低，可以无限重复。”

“这个好！”