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第585章 国产光刻机崛起的希望高通小丑(第2页)

代替“激光”

作为激和约束等离子体的手段,在放电区域周围设置一组导磁体线圈,产生一个特殊的磁镜场构型。

先用脉冲电流激等离子体,再用多层反射镜来收集13.5纳米的波长,最后聚焦和输出。

林南原本不以为然,但在研究一段时间后,他现老板的方案并非是空想,而是具备极强的可实现性。

事实证明,这条路是对的!

“行,先这样。”

陈延森极为平淡地挂了电话。

在他看来,光刻技术是个无比庞大的环节,除去光源部分,物镜系统、双工作台、光刻胶等模块也是重中之重。

搞定euV光源的激方式,不过是千里之行,才走一步而已。

另一边。

林南暗自咋舌,表情有些失控,他其实很想再打回去告诉老板:“凭借这项技术,明年拿个国家最高科学技术奖,也不是没有可能啊!”

可他转念一想,深蓝科技还有三个诺贝尔化学奖的获得者,老板的反应平淡也很正常。

由于‘磁约束放电等离子体光源’是星源科技和华科协会的共同研究成果,消息在国内的科学界飞传开。

胡锐晖在得知后,猛地站起身,根本不敢相信。

“这才四个月不到,就特么有成果了?开什么玩笑?”

胡锐晖在办公室里走来走去,竟破天荒地爆了粗口。

同一时间,哈工大光学实验室和龙州光机所也收到了消息。

第一反应,假的!

可他们在反复验证后,又不得不相信,星源科技和燕京光电所,还真把euV光源技术给搞了出来。

并且,还成功绕过了阿斯麦、卡尔蔡司、山星、湾积电和cymer构筑的专利防御墙。

两个小时后,李青松接到胡锐晖的电话。

“先封锁消息,让安国协会的工作人员立刻赶到沪城,所有参与了研过程的人员,一律签署保密条例。”

李青松在明白这项技术的重要性后,脸色瞬间变得凝重起来,冲着一旁的秘书吩咐道。

他在星源科技身上,看到了国产光刻机崛起的希望!

“好的,李先生。”

秘书不敢耽搁,抓起电话就开始联系安国协会,将需要签署保密条例的人员名单、对接流程一一梳理清楚。

李青松则站在办公室的玻璃窗前,望着燕京灰蒙蒙的天空,不由地陷入了沉思。

星源科技在euV光源领域的技术突破,像一道惊雷,劈开了自研光刻机路上的迷雾,可随之而来的,还有无数即将袭来的暗流。

一旦消息泄露,阿斯麦、卡尔蔡司那些国际巨头绝不会坐视不理,要么通过专利诉讼拖延进度,要么联合供应链施压,甚至可能动用盘外力量干预。

毕竟,半导体行业从来都不只是单纯的技术竞争,背后牵扯着太多的利益博弈。

星源科技的展让人出乎意料!

与此同时。

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