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钱兰说,“改完以后,面积大了18%,晶体管多了272个。但下一轮流片,良率至少能到3o%。”
她看着台下。
“这份报告,是我们一个月的心血。但它不只是给我们看的,是给以后所有人看的。以后再有人做芯片,第一次流片失败,可以翻翻这份报告,看看我们是怎么踩的坑。”
台下安静了几秒。
然后有人鼓掌。
是柳工,他站起来,走到前面。
“我看了这份报告。写得很好。问题找得准,分析得透。但我要说的是,工艺这边,也有问题。”
他从兜里掏出一张纸,是一份氧化工艺的参数记录。
“氧化层致密性不够。我们测过,针孔密度偏高。如果氧化层没长好,电压一来,该绝缘的地方就不绝缘了。这个问题,不是你们设计能解决的,是我们的活儿没干到位。”
他把纸放下:“还有掺杂。扩散炉里,不同位置的片子,掺杂浓度不一样。前端的浓,后端的淡。这个波动,也会导致芯片性能不一致。”
他看着台下:“所以今天我来,不只是来听课的。我是来告诉你们,工艺这边,也在改。氧化工艺要调,掺杂工艺也要调。下一轮流片,我们会拿出更稳的片子。”
他走回座位,坐下。
掌声又响起来,比刚才更响。
掌声刚落,靠墙那排有人举手。
是惊雷项目组的,一个三十来岁、穿便装的军人。
他站起来,看着钱兰:“我问个问题。你们这次失败,72%短路、48%击穿、延迟全覆盖,按说,这是技术灾难。但你们现在坐在这里,给我们讲这堂课,是什么意思?”
他顿了顿:“我的意思是,如果这是战场,一颗炮弹打出去,没响。你们会怎么办?写一份报告,告诉大家为什么没响?”
会议室里安静了。
钱兰沉默了几秒:“我们会的。我们会写报告,告诉大家为什么没响。然后,我们会改。改设计,改工艺,改一切能改的地方。再打一。如果还没响,再写报告,再改。一直改到它响为止。”
她看着那个军人:“这是我们的活法。你们的活法是一炮弹打出去,必须响。我们的活法是让它能响。”
那个军人沉默了几秒,然后点点头。
钱兰讲完,走回座位。
台下安静了几秒。
然后有人鼓掌。是63o5厂工艺科的人,是惊雷项目组的军人,是集成电路实验室的设计人员。
掌声持续了很久。
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