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第459章 找原因（第3页）
“没看到明显的毛刺或凸起。”
他说，“不是那种不该连的线被连上了。”
钱兰皱起眉头：“那是什么问题？”
吕辰想了想：“形态都一样？”
诸葛彪愣了一下：“什么意思？”
“我是说，这四十一块短路的芯片，短路的形态是不是都一样？”
吕辰说，“如果每一块短路的位置都一样，那就是设计问题。如果位置随机分布，那就是工艺问题。”
诸葛彪眼睛亮了。
他拿起几块废品，用探针台一个一个测，把短路的位置标出来。
一个小时后，结果出来了。
41块芯片，短路的区域几乎完全一致——都在寄存器堆的同一个位置，那两条电源线和地线之间。
“设计规则问题。”
诸葛彪放下探针，长叹一口气，“那两条线的间距，理论上是够的。但实际工艺有偏差，只要稍微过刻蚀一点点，就连上了。”
钱兰在旁边画了一个示意图：“就是说，咱们画版图的时候，把这两条线放得太近了？在图纸上看着没问题，但真正做出来，就有风险。”
“对。”
诸葛彪说，“这叫‘工艺窗口太窄’。理想状态下，5微米间距是安全的。但实际生产中，光刻机有误差，刻蚀有误差，温度有波动，只要有百分之几的偏差，就短路了。”
吕辰看着那张示意图，沉默了几秒。
设计规则问题。
这就是说，不是工艺不行，是版图画得不够好。
有救。
吕辰站起来，“用显微镜看。”
吕辰把一块短路的芯片放在载物台上，调好焦距，眼睛凑到目镜上。
视野里，是密密麻麻的金属走线，横平竖直，整整齐齐。
他沿着电源总线，一点一点地看。
从芯片的左边，看到右边。从上边，看到下边。从电源引脚，看到地引脚。
没有。
没有现明显的“毛刺”
或“凸起”
。
那些不该连的线，并没有连上。
“怪了。”
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