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第401章 中试线的七只老虎（第3页）

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“第一只虎，洁净环境系统。”

刘星海教授看向梁先生团队和负责环境控制的专家组，“我们不可能、也不应该追求整个车间达到c1ass1oo。那不现实，也无必要。我们的策略是‘关键区域局部保障+严格的气流与污染管控’的务实路径。兰大和成电的团队牵头，联合攻关。”

兰大的岳伴教授站起身：“空气过滤是关，我们需要稳定可靠的亚高效甚至高效过滤器。已经联系了航天部门，他们能提供少量用于舱内空气净化的石棉纤维滤纸，但量远远不够。”

汤渺教授接口道：“材料中心在尝试另一条路，利用研究多孔陶瓷的技术，烧结制备陶瓷基板高效过滤器。优点是耐高温、可反复清洗再生，缺点是阻力大、脆性高。但如果成功，可以作为关键设备自带送风单元的终极过滤段，或者用于小型净工作台。”

梁先生团队的年轻工程师补充道：“过滤器的结构设计采用折皱式，用浸渍过酚醛树脂的薄铝箔做折叠隔板，最大限度增大过滤面积，降低风阻。送风机组打算用淘汰的工业鼓风机改造，重点解决噪音和振动问题。”

“气流组织是核心。”

成电的郑长枫也有方案，“必须要建立‘洁净岛’概念。在光刻机、涂胶台、键合显微镜上方，设计垂直层流罩。顶部风机下接预过滤、高效过滤箱体，经过穿孔板均流，形成向下‘空气瀑布’。罩体用不锈钢板焊接，关键在密封和防止自身产尘。气流严格单向，送风口在上，回风口在设备侧下方或底部，确保气流将操作员散微粒带走，而不是吹向硅片。即使整体洁净度不高，也要建立明确的‘压力阶梯’……”

“温湿度控制，”

钱兰汇报，“加热用蒸汽盘管，冷却用冷却塔水通过表冷器。控制核心是天津仪表厂试制的气动比例积分调节阀，精度和可靠性待验证。夏季除湿靠表冷器冷凝除湿，加湿准备试用工业声波加湿器，但要防止水雾携带杂质。关键设备的基础，我们计划制作独立的大质量混凝土惯性块，与建筑结构柔性隔离，所有连接的风管、水管全部改用帆布或橡胶软连接。”

“第二只虎，纯水。”

刘星海教授看向上海医工院的专家，“放弃一步到位的幻想，建立‘多级联产、终端精制、在线监测、分级使用’的系统。由上海医工院牵头，联合南开大学、上海试剂总厂攻关。”

上海医工院的沈工程师语气沉稳：“水源只能是自来水。我们先上活性炭过滤和聚丙烯熔喷滤芯过滤器，去除余氯、有机物和大颗粒。初级净化是化工常见设备，石英砂过滤+无烟煤、石英砂、石榴石分层等多介质过滤+5微米保安过滤器。”

他调出幻灯片示意图：“核心脱盐分两级。第一级，用电渗析。借鉴苦咸水淡化技术，设计小型电渗析堆，作为预脱盐主力，能去除8o%-9o%离子，大幅减轻后续离子交换负荷。第二级，离子交换。南开大学提供了最高级别的核子级离子交换树脂。我们采用‘混床’设计，阴阳离子树脂均匀混合，达到最好‘抛光’效果。交换柱设计成可拆卸、便于再生，树脂床高细比要大，减少‘沟流’现象。”

“再生是命门。”

他加重语气，“再生用的酸、碱和水，必须达到‘电子级’纯度。上海试剂总厂负责提供。否则，再生过程就是一次严重的污染过程。在每个高纯水使用点前，我们再加一级小型‘抛光混床’，甚至直接使用‘核子级抛光树脂柱’，确保最后一关的绝对纯净。”

沈工程师继续道：“我们尝试在循环管路中加装低压汞灯紫外线杀菌器。另外，化学所提供的醋酸纤维素中空纤维膜，我们打算做成小型组件，用于终端去除热源和极细微颗粒。输送管道，全部使用太钢特种钢厂生产的不锈钢管，内壁进行电抛光和钝化处理。系统设计成闭路循环，24小时低流运行，回水经过紫外杀菌和终端过滤后，再回到主系统。”

“至于水质监控，”

他最后说，“核心是国产电阻率仪，目前精度勉强能达到15兆欧·厘米，低于18兆欧的理论纯水值。我们计划设立一个‘水质监测台’，除了在线电阻率监测，还定期手动检测硅含量、颗粒物计数和细菌总数。水质分级使用，最高级的水只用于最终硅片清洗和配制关键试剂。”

刘星海教授点点头：“环境和水是基础，但真正的硬仗，是让这些实验室的‘宝贝’设备在一起稳定工作。我们至少要面对另外五只同样凶猛的‘老虎’。”

“第三只虎，”