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第367章 集成电路能做（第1页）

参观演示在激动与振奋中结束。

代表们回到报告厅，心情久久不能平静。

上午剩下的时间，将由刘星海教授代表“星河计划”

指挥部和调研协调组，向大会做全面、系统的调研成果汇报。

刘星海教授再次走上讲台。

与刚才参观时的兴奋不同，此刻他的表情严肃而凝重。

接下来的汇报，将决定“星河计划”

能否从“可行性验证”

阶段，真正转向“规模化攻坚”

阶段。

他需要向全国的支持者们，交出一份扎实的“家底清单”

，同时也要坦诚面临的“悬崖峭壁”

。

“尊敬的各位领导，各位专家，同志们。”

刘星海的声音透过麦克风，清晰地传到每个人耳中，“刚才大家看到的二维卡和‘红星一号’计算器，是我们‘星河计划’结出的第一茬果实，虽然青涩，但证明了土壤和种子的力量。而过去半年多，我们奔波数万里，进行了全国调研，所做的一切，就是为了摸清我们这片‘土壤’到底有多厚实，为了找到培育更多、更好果实的路径。”

他打开厚厚的讲稿，背后的大型幕布上，出现了“星河计划全国技术调研总览”

的标题。

“我们的调研，分了两个阶段，七个核心方向，三条主线推进。”

刘星海开始系统性地阐述，“第一阶段，是‘关键技术节点突破与可行性验证’。我们聚焦于当时在百工大会上发现的四项边缘技术，以及与之相关的核心单位，深入进去，看看到底有没有可能把它们‘捡起来’，拼凑成集成电路制造的雏形链条。”

他调出第一阶段调研的总结图。

“第一站在中科院半导体所，我们的‘材料基石’。成果是：他们能用区熔法提纯硅材料，实验室纯度最高能达到6个9能拉制直径一英寸的硅单晶，两英寸的成功率低于10%。他们有自制的超纯水系统、化学气相沉积设备。听起来有基础，对吧？”

刘星海话锋一转：“但问题同样尖锐，6个9的纯度，对于未来的大规模集成电路，只是入门门槛。7个9乃至更高，他们目前难以企及，部分原因是检测手段跟不上。大直径硅锭制备中，热场不均匀、熔体对流不稳定，导致晶锭缺陷率高、直径控制难。更重要的是，他们的工艺严重依赖老师傅的‘手感’和‘经验’，缺乏系统化的工艺参数记录和分析，难以实现标准化、可复制的生产。”

台下半导体所的王守方教授微微低头，但目光坚定，这些问题他们自己更清楚。

“但我们不是去挑剔的。”

刘星海继续说，“我们是去找合作路径的，调研组的同志提出了两条建议，第一，用‘光学记录装置’将老师傅观察熔炼炉火候的‘经验’转化为可记录的光强数据，长期积累，寻找工艺规律。第二，用透明玻璃棒和低熔点金属进行‘模型实验’，模拟熔体流动和热场分布，指导真实工艺优化。半导体所的同志们接受了这些建议，并且，‘星河计划’也会协调专业的学生力量，协助开始数据记录与分析。这就是合作，补上他们缺乏系统研究方法的短板。”

王守望方教授抬起头，脸上露出了感激和振奋的神情。

“第二站是长光所，我们的‘画笔与标尺’。”

刘星海的语气带着敬意，“长光所的第一代光刻机原型，已经能稳定实现5微米线宽的图形曝光。这非常了不起！但是，距离集成电路所需的2微米、1微米乃至更高精度，差距是客观存在的。”

他列出了长光所面临的问题清单，光源稳定性、物镜像差、工作台定位精度与重复性、振动与热漂移、光刻胶标准化、套刻误差控制……，每一个都是硬骨头。

“我们没有好高骛远。”

刘星海强调，“我们和长光所的同志们坐下来，确定了最务实的技术路线，先解决有无，再追求好坏。把光刻组的第一阶段目标，正式定为采用5微米工艺，实现‘红星一号’计算器模块化方案的制造与系统集成。并且制定了详细的时间表。同时，凝练出了《光刻及关联技术关键问题与需求清单》，发往哈工大、上海机床厂、武水院等相关协作单位，明确了各自的任务。”

长光所的王先生、陈光远在台下微微点头。

这份清单，是他们和调研团队熬了几天才反复推敲出来的，是未来攻坚的“作战地图”

。

“调研组的同志还提出了‘模拟实验与数字孪生’的思路，以及‘标准化与模块化’的方法论，强调要把老师傅的‘手感’变成可量化、可传授的工艺规范。这些思想，正在被长光所吸收采纳。”

接着，刘星海依次汇报了哈工大（存储与精密机械）、北京真空所（薄膜沉积）、西军电（高可靠标准与工艺）、武水院（超纯净微电网）、上海感光厂（光刻胶攻关）、上海试剂总厂与有机所（蚀刻）等第一阶段的调研成果与合作确立情况。

每一个单位，他都既充分肯定其现有的技术基础与人员奉献，也坦诚指出其面临的瓶颈与短板，更重点说明了调研后达成的具体合作意向、成立的联合小组、明确的攻关方向。

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这不是一份成绩单，更像是一份经过详细勘察后绘制的“资源地图”