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“第二,工艺水平处于‘实验室’向‘工程化’过渡的艰难阶段。我们能做出5微米光刻的原理样机,能拉出6N纯度的硅锭,能沉积氮化硅薄膜,能封装简单的芯片……但成品率低、一致性差、稳定性不足、成本高昂。从‘做出来’到‘稳定地、批量地、低成本地做出来’,还有漫长的道路要走。”
“第三,设备与仪器是最大的短板。高精度工作台、稳定紫外光源、超纯化学品制备系统、精密温控设备、在线检测仪器……,几乎全都依赖自制或改造,性能与国际先进水平差距巨大,且可靠性堪忧。”
“第四,系统集成与标准体系几乎是空白。芯片设计、制造、封装、测试之间如何衔接?材料纯度标准、工艺规范、测试方法、可靠性指标是什么?这些都需要从头建立。”
“第五,人才队伍缺乏中坚力量。我们有顶尖的理论专家,有经验丰富的老师傅,但既懂理论又懂工艺、能进行系统设计和工程管理的复合型人才极度匮乏。”
刘星海毫不回避地列出了五大难题,会场的气氛变得凝重起来。光鲜的成果背后,是如此艰巨的挑战。
“但是!”
刘星海话锋一转,目光如炬,“正因为看到了这些困难,我们才更清楚应该往哪里使劲,才更明白‘星河计划’存在的价值!”
他指向系统图:“我们的技术路线已经清晰,1至2年的近期目标,是夯实5微米工艺平台。以‘红星一号’计算器及其后续改进型号为需求牵引,打通从设计、光刻、薄膜、掺杂、封装到测试的全流程,实现小批量、稳定生产。在这个过程中,建立初步的工艺规范、检测方法和可靠性标准。”
“3至5年的中期目标,是攻克3微米乃至2微米工艺。以研制更复杂的专用计算电路、工业控制电路为核心目标。需要在此期间,研制出第二代更稳定的光刻机、更精密的加工设备、更高纯度的材料和化学品。理论组要完成‘星河-1’指令集架构的详细定义和设计自动化工具的初级版本。要建成第一个符合芯片制造基本要求的净化车间和超纯净微电网示范单元。”
“5至10年的远期目标,要实现集成电路制造技术的自主可控,并迈向更高集成度。以研制自主的微型计算机中央处理器和存储器为目标,带动全产业链技术升级。建立完整的集成电路设计、制造、封装、测试产业体系和技术标准体系,全面掌握集成电路技术。”
刘星海的描绘,由近及远,层层递进,既务实又充满雄心。
会场的凝重气氛渐渐被一种昂扬的斗志所取代。
刘星海最后建议:“为了实现这些目标,星河计划指挥部建议,本次会议后,立即开展以下工作:
成立常设技术协调办公室,挂靠在红星工业研究所,负责日常的技术需求对接、资源协调、进度跟踪和信息汇总。
按专业组细化攻关任务书。请各专业组根据本次调研确定的技术清单和合作意向,在一周内提交详细的、分阶段的攻关任务书、资源需求清单和人员配置方案。
启动首批联合攻关项目。建议以‘5微米工艺全流程验证与优化’、‘高频封装技术联合攻关’、‘超纯净微电网设计与建造’、‘二维卡工业控制标准制定’等四到五个项目为首批重点,集中优势力量,尽快取得突破,树立信心。
建立人才培养与交流机制。由清华大学、北京大学、哈工大等高校牵头,联合各研究所和工厂,开设‘微电子技术’专项培训班和研究生方向,加速培养中间层人才。同时,建立人员互派、短期交流的常态化机制。
编制‘星河计划’技术发展白皮书。系统梳理我们的技术基础、目标路径、资源需求和潜在风险,作为向国家持续汇报和争取支持的纲领性文件。”
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刘星海说完,静静地看着台下。
他的汇报,没有豪言壮语,只有扎实的数据、清晰的分析和可行的建议。
而这,正是技术工作者们最信任的语言。
钱先生再次带头鼓掌。
这一次,掌声不再是为了某个激动人心的演示,而是为了这份沉甸甸的、凝聚了无数人心血和智慧的“家底清单”
与“行军路线图”
。
工业部孙老接过话筒,声音洪亮而坚定:“星海教授和调研团队的同志们,辛苦了!你们这份汇报,扎实、透彻、有见地!‘星河计划’不是空中楼阁,是建立在我们中国实实在在的工业基础、资源禀赋和人才储备之上的!困难很多,非常大,但正因为困难,才需要我们去干!部里全力支持会议提出的各项建议。请指挥部尽快将详细方案报上来,要人给人,要资源协调资源!中国自己的集成电路产业,必须搞起来,也一定能搞起来!”
国防科委的领导也表态,将在高可靠、抗辐射等特殊芯片需求方面,提供应用牵引和试验支持。
会议在一种务实而充满决心的气氛中,进入了下午的分组讨论环节。
各专业组的代表们迫不及待地聚到一起,对照着调研报告和问题清单,开始具体地划分任务、争论技术细节、计算资源需求。
那些写在纸上的合作意向,开始变成一条条具体的工作安排;那些分散在全国各地的“火种”
,在这个房间里,被正式纳入同一张“星图”
,开始朝着共同的目标燃烧。
傍晚时分,分组讨论暂告一段落。
夜色渐浓,计算所大楼的灯光依然明亮。
“星河计划”
的基石,就在这个春天的夜晚,由这群沉默而坚定的人们,一砖一瓦地铺就。
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