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第831章芯片进展3
“第一,纳米片晶体管(gaaFeT)的刻蚀控制。
我们对纳米片叠层的精度、栅极环绕的控制,极其不稳定,这是良率波动的主要来源之一。”
“第二,高介电常数金属栅极(hkmg)的堆叠精度和均匀性。
新材料的热预算和界面态极其敏感,均匀性偏差导致阈值电压(Vt)漂移严重。”
“第三,也是最致命的,”
他的语气几乎带着一丝绝望。
“极紫外(euV)光刻技术的应用调试。
euV光源的功率、稳定性,以及配套的光刻胶、掩膜版技术,全部受到最严格的限制,获取极其困难,调试进度几乎停滞。
没有稳定可靠的euV光刻,很多关键的精细结构无法实现,良率和性能都无从谈起。”
他指着图表上那个刺眼的数字:
“目前mp试产的综合良率......仍然在25%-3o%的区间剧烈波动,最低甚至探至18%。
而且,波动没有收敛的趋势。
姚总,这个良率,对于单颗成本就高达数十美元的高端旗舰芯片来说,是商业上无法接受的。”
会议室的温度仿佛瞬间降到了冰点。
25%-3o%且不稳定的良率,意味着过三分之二的芯片是废品,这不仅是成本的灾难,更是量产交付的噩梦。
孟良凡的面色也无比凝重。
他双手交叉支在桌上,身体前倾,沉声道:
“n+1的困境,是基础物理学、材料科学和精密工程极限的综合体现。
这堵墙,靠工艺团队硬撞,代价太大,进度也无法保证。”
他再次将目光投向陈默,这次带着更深的期待和恳求。
“陈总,我们恳请开辟第二战场。
设计端和工具链必须承担更多责任。
现有的eda工具,在应对n+1这样逼近物理极限的工艺时,已经显得力不从心,更别说再往后的n+2工艺了。
我们迫切需要工具链的再次革命。”
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