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193nm的干式duV光刻机对阿斯麦来说,并不是多高大上的技术。
早在上个世纪9o年代,他们就整了出来。
随后因为一个林姓的华裔研究出了浸没式技术。
其加入了台鸡电,在让台鸡电快扩张的同时,也让阿斯麦成为了行业中的领头者。
在泥康这些日企苦苦研究干式光刻机的时候,他们的浸润式光刻技术,让阿斯麦一举成为了领先。
时至今天,阿斯麦已经研制了euV光刻机,行业领先地位,再难撼动。
但是否意味着阿斯麦永远不会衰落呢?
并不是这样。
技术的突破,甚至是技术的更新,带来技术弯道车,都可能让一个原本领先的技术公司,再次落后。
江奕辰就坚定地这么认为。
也不断地开展各类延伸性研究。
特别是自己的个人实验室,并不是江奕辰在主要研究光刻技术的时候,他们就闲着。
相反,江奕辰也给了不少的研究课题,让孙阳、罗钰牵头开展。
只要他们研究出来的技术,都进入江奕辰奕辰集团的技术鱼池。
一旦哪个技术获得应用,那么他们这些人也将会有巨大的技术分红。
如今大的技术不说,但江奕辰将一种电致光材料交给他们研究之后,还真让他们整了新的东西。
不过江奕辰现在没有理会。
新光刻技术正在实验。
张成研究的高分子溶液暂时失败,找的数十个材料,虽然取得了一定效果,但却因为各种原因,没有办法采用。
唯独好一点的,制备纯度极高的溶液难度大不说,成本也高,还容易侵蚀衬底,让光刻的效果消散。
最后江奕辰把重点放在了孔连华的研究上。
孔连华研究的是一种特制的晶体。
在第一阶段研究的过程中,孔连华在江奕辰的提醒下就制备了过1o种的符合折光率条件的晶体。
全部过纯水的折光率。
其中最好的一种晶体,可以让光的波长,从193nm缩减到9onm。
这意味着可以轻易地制备14nm的芯片。
因为光的波长是横向尺寸,把光比作弯曲的钻头,弯曲成正弦波样子,那么弯曲一个来回,钻头的长就是波长。
用这个钻头来打孔,就会晃动,这是光波的打在被爆光的面上的精细程度。
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