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第2072章 分成两组（第1页）

这个消息惊到了林语，他怎么也没想到，雅达芯片竟然研出了光刻机。

“多少制程节点的光刻机。”

“193纳米。”

林语知道，现阶段主流的光刻机主要支持的制程节点大约在9o纳米到65纳米之间，而且很快就会出现技术突破，所以即便制造出来了193纳米的光刻机，也与国外的有不小出差距，但是能够制造出来光刻机，说明也进行了大量的科研，这也算是一种成功，毕竟国外的很多技术和设备都对华国进行封锁。

“零部件有多少是进口的？”

林语询问道，他知道一部光刻机光零件就高达十万多个，按照现在的制造业能力，显然是没有办法造出大部分零件的，所以他才想知道，到底有多少是自主设计制造的？

“百分之八十五！”

刘成林回答道。

林语的眉头微微皱了起来，因为这么高的进口比例，等同于是组装了一台光刻机，当然了，这些科研人员也是付出了努力，不然按照光刻机巨头说的那句话，就算将图纸拿给你们看，也不见得能够造得出光刻机，所以林语对他们付出也是认可的。

“你们采用的是duV（深紫外）激光制造的吗？”

林语再次问道。

刘成林一愣，他显然没想到老板竟然还知道深紫光，不过这也正常，毕竟老板花费十亿收购了雅达芯片，如果他什么都不懂，收购来做什么呢？

“是的老板。”

刘成林点头说道。

“那你们选择的是浸没式193nmarF，还是利用157nm的F2的准分子光源。”

刘成林再次愣住了，当然了，还有郭阳他们，他们怎么也没想到，林语竟然什么都懂，而且说的这么详细，这些专业术语，他们听都没听过。

“157nm的F2的准分子光源。”

林语知道，自从2oo2年后，duV技术在干法arF后期演化成两条方向，就是林语上面说的两种，而又以F2更加保守一些，现在最厉害的两个光刻机公司就选择的这种方法，所以刘成林他们选择这种也不奇怪。

但另外一种是继续使用193nm的arF光源，但是将镜头和光刻胶之间的介质由空气改成液体。采用这种方法的公司在后世成为了光刻机的巨头，没几年就将现在的两家光刻机公司甩在后面。

所以能够证明，第二种方法更加正确。

当然了，后世的这家光刻机巨头将duV（深紫外）激光制造，改为了euV（极紫外）激光制造，因为这个才奠定了它巨头的身份。但是现在他们还没有开始研究极euV光刻机，所以弯道车也不是没有可能。