倍福文学

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第627章 归于人间烟火（第2页）

这句话说出来的时候，长的语气里带着一丝好奇，也带着一丝笑意。

陈光远也笑了，是那种回忆往事时才有的、带着一丝不好意思的笑。

“长，您说的对。我们确实用木头搭过模型。”

他站起来，走到白板前，拿起记号笔，画了一个方方正正的轮廓。

“1962年秋天，刘教授把我们几家单位叫到一起开会，讨论光刻机的技术路线。当时国内对于光刻这件事，几乎没有任何经验。我们知道原理，用紫外线通过掩模版，把图形投影到涂了光刻胶的硅片上。但是，知道原理和造出机器，中间差了十万八千里。”

“全世界都一样。那时候，美国人也没定型，欧洲人也在摸索，苏联人走的是电子束刻的路子。没有现成的图纸，没有成熟的样机，没有任何一家公司卖这种设备。你想买都买不到。”

他在那个方方正正的轮廓里画了几条线，标了几个方块。

“所以我们当时的第一个问题不是‘怎么做’，而是‘长什么样’。”

他放下笔，转过身，看着长。

“我们请了一个木工师傅，是机床厂的老把式，姓周。周师傅没读过什么书，但手艺好，看过图纸就能做出东西。我们把原理跟周师傅讲了，又画了一张非常简陋的示意图，然后对他说，周师傅，您帮我们搭一个木头模型，我们就想知道，这台机器大概长什么样，各个部件大概摆在哪里。”

“周师傅花了三天时间，用松木做了一个模型。方方正正的，像个大柜子。上面是光源和掩模版，中间是镜头，下面是工件台。看起来粗糙，但比例是对的，各个部件的位置也是对的。”

陈光远说到这里，自己笑了一下。

“有了这个木头模型，我们心里就有底了。

至少知道这台机器应该长什么样，各个部件之间应该怎么配合。

然后就开始往上面加东西，今天加一个调平机构，明天加一个对准系统，后天换一种光源。今天加一样，明天又加一样，一点点地往前拱。”

“有时候加的东西不对，整个系统就不工作，拆了重来。有时候加对了，但稳定性和精度不够，就反复调、反复试。光刻机的工作台，要求精度是微米级的，刚开始我们连百分之一毫米都保证不了。后来一点一点地磨，一点一点地改，用了三年时间，才做出了第一台能用的样机。”

长听得很认真，没有插话。

陈光远回到座位上，端起茶杯喝了一口。

“长，说句实在话，光刻机不是我们抄的，也不是我们明出来的，是长出来的。从一个木头模型开始，今天长一点，明天长一点，长了八年，长成了现在这个样子。”

会议室里安静了一瞬。

长靠在椅背上，手指在桌面上轻轻叩了两下。

“从木头模型，到2微米光刻机。八年。”

他把这几个字念了一遍，然后点了点头，“不容易。”

他端起茶杯，又喝了一口，放下。