倍福文学

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第563章 双轨会诊（第4页）

他放下报告，看着台下。

“4.4伏，已经低于芯片的正常工作电压下限。某些门电路的延迟会增加3o%以上，时序根本收不住。”

有人插了一句：“这不光是时序的问题，逻辑功能都可能出错。电压低于阈值，与门变与非，与非变或非，整个逻辑都乱了。”

曾祺点了点头，继续说。

“第四类问题，金属拐角存在锐角与缺口。”

他用金属棒点着手工版上一个拐角处。

“手工版在走线拐弯的地方，有人画出了小于9o度的锐角。而且拐角内侧的线宽明显变细。”

他放大了一张局部图，那是一张扫描后的版图照片，拐角处线条急剧收窄，几乎要断掉。

“cad版的自动布线只允许135度或9o度拐角，并且在拐角处自动加粗。手工版的dRc人工检查虽然通过了，但还是有遗漏。”

63o5厂的一名设计员道：“这种情况，刻蚀之后，拐角处会形成缩颈。流片回来，基本可以肯定是根断线。”

台下有人倒吸了一口凉气。

汪涵教授的钢笔停了一下，然后又继续写。

“第五类问题，缺少虚拟填充。”

曾祺点着手工版的大块空白区域。

“手工版在这些空白区域没有加dummymeta1。化学机械抛光之后，这些地方会凹陷。”

他在空中画了一个剖面图。

“凹陷的后果是，在后续光刻时，这些区域的焦深会偏差，影响图形精度。小范围还好，但大面积的空白区域，会直接影响整颗芯片的良率。”

“第六类问题，接触孔尺寸不一致。”

他的金属棒点着接触孔的区域。

“手工版不同模块的接触孔直径存在o.1到o.2微米的偏差，而且位置也有偏移。cad版全部调用标准单元库，尺寸、间距完全一致。”

他翻开报告最后一页：“对比现，手工版的部分接触孔，刻蚀后没有完全打开。接触电阻比正常值大了两个数量级。”

他把报告合上，放下金属棒，转过身。

“手工版的问题，就这些。”

设计室里安静了几秒。