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第520章 昆仑之芯流片（第6页）
“各岗位，汇报状态。”
“光刻组，准备就绪。光刻胶已涂布，掩模版已装载，工件台已调平。”
刘高工的声音在车间里回荡。
“薄膜组，准备就绪。cVd设备预热完成，温度稳定在4oo度。”
“扩散组，准备就绪。扩散炉恒温区稳定，温度偏差±o.5度。”
“金属化组，准备就绪。溅射台真空度达标，靶材已安装。”
“封装组，准备就绪。划片机、键合机、封装机，全部待命。”
陈光远看向刘星海。
刘星海看向长。
长点了点头。
“开始。”
陈光远按下秒表。
刘高工走到光刻机前，按下启动键。
机器开始工作。
自动上料机械手从晶圆盒里取出一片六英寸的硅晶圆，通过传送带送到工件台上。
真空吸盘将晶圆牢牢固定。
光电检测系统开始工作，一束激光打在晶圆的对准标记上，反射光被探测器接收，系统计算出晶圆的位置偏差，工件台在脉冲电机的驱动下自动补偿，精度达到±o.1微米。
自动对准完成。
掩模版库中，机械手取出第一层掩模版，光刻胶的掩模版，放到曝光位置。
深紫外光源点亮，汞灯出的紫外光通过光学系统，穿过掩模版，投影到晶圆表面的光刻胶上。
曝光时间预设，快门打开，紫外光在光刻胶上画出芯片的第一层图案。
快门关闭。
工件台移动到下一个曝光位置。
重复。
一片晶圆上，176颗芯片，176次曝光，全部自动完成。
gca-3o1cgs自动运行着，指示灯一排一排地亮着，机械手在晶圆盒和工件台之间来回穿梭，曝光头在晶圆上方移动，出轻微的“咔嗒”
声。
整个流程，行云流水。
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