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吕辰凑过去看,图纸上画得密密麻麻,每一个设备的摆放位置、每一条管线的走向,都标得清清楚楚。
吕辰指着图纸上的另一片区域,那是新光刻机的安装位置。
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吕辰抬起头:“3o1?”
“对,3o1。”
梁先生的眼睛亮了一下,“光刻组的新成果,分辨率2微米,套刻精度±o.5微米,比2o1高了一个档次。”
胡教授在旁边补充:“不仅是光刻机。扩散炉、离子注入机、刻蚀机、镀膜机,大部分设备都进行了升级换代,新产线完全有望做到2微米工艺。”
刘星海放下铅笔,靠在椅背上。
“现在的问题是,国防科委和四机部有意将其中一条产线定为军品专线,专门对接军品。至于具体到哪条产线,目前还在争议。”
吕辰道:“五微米线和两微米线,各有各的优点。”
“你说说看。”
刘星海看着他。
“五微米线,优点是稳定。工艺成熟,良率高,设备跑了好几年,什么问题都见过了。工人也熟练,闭着眼睛都能操作。军品不要求最精,但要求最可靠。五微米线,有这个底气。”
他顿了顿,又说:“两微米线,优点是精。集成度更高,度更快,功耗更低。但工艺新,良率还没上来,设备也还在磨合期。用在军品上,风险大。”
梁先生点点头:“军品不要求最先进,要求最可靠,有道理。”
刘星海教授,但嘴角微微动了一下,像是在笑。
转而又说起一件事:“还有两个喜事。第一,半导所要扩产,建一条专业的晶圆生产线。第二,156厂要建一条印刷电路板生产线。”
梁先生苦笑一声:“这两项任务,都落到了我头上。我这把老骨头,看来还得再干几年。”
吕辰看着他花白的头、瘦削的脸庞,心里涌起一股说不清的滋味。
“梁先生,您身体吃得消吗?”
梁先生摆摆手:“吃得消。这辈子就跟房子打交道了,不差这一回。”
胡教授道:“老梁你可别逞强,有事弟子服其劳,依我看,应该给年轻人机会。”
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