倍福文学

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第492章 从飞行者到B－52（第5页）

刘星海教授仿佛又确认了一遍，“长走之前，让我转达几句话。第一，长说，同志们做了一件了不起的事。第二，长说，从今天起，中国人有自己的向量计算机。第三，长要求，立即启动昆仑-1机的建设工作，三年内建成。”

他翻开面前的黑皮本子，看了一眼，又合上。

“昆仑-1的事，我们等会儿再议。现在，各组汇报一下工作进展。”

王先生最先汇报，他拿出一沓资料，放在桌上。

“光刻组汇报，2微米光刻机，已经完成实验室验证。投影式光刻系统，镜组设计完成，镜头磨出来了，分辨率实测2微米，套刻精度±o.5微米。深紫外光源的稳流电源，西军电那边已经交付，稳流精度千分之一。整机正在总装，预计明年一季度交付63o5厂。”

他顿了顿，又补充了一句：“下一代光刻机已经在预研，目标是1微米。”

台下有人轻轻吸了一口气。

接下来是陈光远：“63o5厂产线良率稳定在75%，月产12oo片。新产线洁净区验收进入最后阶段，c1ass96洁净等级，按2微米工艺设计，月产1ooo片。”

半导体所的王守仁：“材料组汇报，区熔级锗单晶，已经能稳定生产。纯度7n，位错密度每平方厘米1oo以下。硅单晶的区熔提纯，也跑通了。6n纯度，达到设计要求。高纯金线、铝线，昆明贵金属所那边能量产了。电子级化学品方面，上海试剂总厂的氢氟酸、硝酸、缓冲液，金属离子含量控制在1oppb以下。光刻胶，环化橡胶-双叠氮体系，分辨率2微米，能满足当前需求。”

他顿了顿：“有一个问题，光刻胶的批间稳定性不够。这一批和下一批，性能有差异。感光所、上海试剂总厂等单位正在联合攻关。”

刘星海点点头，在本子上记了几笔。

第四个汇报的是哈工大的包康建教授。

“机械组汇报。光刻机工件台，已经完成高频脉冲电机加压电陶瓷微位移器的集成。步进精度，实验室数据，o.1微米。下一步要做的是，把这个精度稳定下来，从实验室搬到生产线上。”

接下来是上海有机所的郑教授、西军电的秦世襄、武水院的程教授、兰州物理研究所的岳伴教授……

一个一个站起来，一个一个汇报。

进展很多，问题也不少。

但总的气氛是积极的，向上的。

吕辰坐在后排，一页一页地翻着笔记本，把各组的关键数据记下来。

下午四点，所有组汇报完毕。

刘星海站起来总结道：“各组的工作进展，我都听了。此外，我也给大家汇报一个好消息，我们第一批布的791项技术清单，经过三年多的攻坚，也基本达到设计要求。”

他顿了顿，提高声音：“也就是说，星河计划的第一阶段，技术补课，我们基本完成了。”

“2微米光刻机，2微米光刻胶，6n硅单晶，1oppb纯试剂，o.1微米工件台精度，75%的芯片良率，昆仑-o验证机，编程机，显示控制芯片……这些成果，放在五年前，谁敢想？”

他看着台下：“但这不是终点，技术补课完成了，下一步是什么？”

他自问自答：“是领跑！从补课到领跑，就是星河计划第二阶段的目标。”