倍福文学

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第471章 晚霞行千里（第3页）

完全失效：9片（短路、击穿、开路）

良率：61.7%

她把本子转过来，让吕辰和诸葛彪看。

“37颗能用。”

她说，“比上一轮8颗，翻了四倍多。”

诸葛彪点上一根烟：“不枉我等当了一回反面教材，要是再不成，我都不知道怎么抬起头来了。”

钱兰也有点感慨：“这几乎是设计和工艺的推倒重来，有这样的提升在情理之中。”

吕辰拿起一颗好的芯片，在手里转了转：“万事俱备，就等光栅尺和脉冲生器了。”

光栅尺是在三月底送到的，长光所的吴高工亲自送来，拎着一个木头箱子，像拎着宝贝似的。

他把箱子放在桌上，打开搭扣，掀开盖子。

里面垫着厚厚的绒布，两把玻璃尺躺在绒布凹槽里，尺身细长，透明，像两条冰做的尺子。

“吕工，这是你们要的光栅尺。”

吴高工介绍：“主尺25o毫米，副尺15o毫米。刻线密度每毫米1oo线，配合四细分，分辨率能到1.5微米。”

吕辰凑近了看，玻璃尺的表面，密密麻麻刻满了线条，细得像头丝，用肉眼几乎看不清，只能在光线下隐隐约约看见一道道反光。

“这怎么刻出来的？”

诸葛彪眼睛都快贴上去了。

“电子束刻。”

吴高工骄傲的说道，“这可是我们所的独门技术，王先生说了，这一根尺子，外国人也就这水平，可惜读数头精度差了点，不然能到亚微米级。”

这的确值得骄傲。

吕辰道：“长光所果然名不虚传，您不如等几天，我们测试好了，把电机给您一起带回长光所。”

吴高工摆摆手：“你们慢慢测，如果不是要找陈副所长拿gca-2o1cgs的使用反馈，我是根本没时间跑这一趟的，第二代光刻机已经进入具体的方案论证环节，我的时间非常紧，陈副所长会亲自到长光所参与光刻机的研制，你们测试好后，到时候请他带来就可以了。”

长光所的人还是习惯称呼陈光远为副所长。

脉冲生器是秦世襄教授的学生送来的，比光栅尺晚了两天。

是一个小盒子，里面是一块pc电路板，用旧报纸包着，外面缠着麻绳。

打开盒子，电路板露出来，巴掌大小，上面焊着石英晶体、三极管、电阻电容，手工布线，整整齐齐。

板子一角贴着一张白胶布，上面用钢笔写着三个字：脉冲源。下面还有一行小字：32.768khz，±5ppm。

“±5ppm。”

诸葛彪念叨了一句，“一百万次只差五次，这精度……”

他把板子翻过来看背面，焊点圆润饱满，走线规整得像印刷上去的。