倍福文学

手机浏览器扫描二维码访问

第467章 给星河装上眼睛（第6页）

吕辰说，“电镜不只能看形貌。如果给芯片通上电，再看，有些地方亮，有些地方暗。为什么？因为电压不同，二次电子的产率就不同。”

他在白板上画了一个简单的电路图。

“如果一条线该亮的地方不亮，说明这条线断了，电压没传过来。如果两条线该暗的地方亮了，说明它们短路了，不该连的连上了。”

他转过身。

“这种方法，对于定位‘开路’和‘短路’非常直观。尤其是多层金属互联的芯片，有时候从上面看是好的，但从电压衬度一看，底下那层根本没通。”

吕辰讲完，最后又道：“这些思路，是我个人的想法，但真要用起来，还得各位慢慢摸索。”

他顿了顿：“陈厂长，我刚才说的这些，大部分是给芯片检测的。但电镜还能干别的，给材料体检。”

他又拿起一块芯片：“材料好不好，不能只看配方，要看做出来之后长什么样。陶瓷烧结有没有气孔？硅片表面有没有划痕？光刻胶涂得匀不匀？这些都要用电镜看。”

他看向文昭南：“文教授，真空所研究薄膜，薄膜致密不致的密，有没有针孔，能不能用电镜看？”

文昭南点头：“能。断面上看得最清楚。”

“那就对了。”

吕辰说，“咱们上海试剂总厂送来的光刻胶，涂出来到底匀不匀？咱们半导体所拉出来的硅单晶，表面到底有没有位错？咱们自己烧的陶瓷，致密度到底够不够？这些，都能用电镜看。”

他走回白板前，在那些字下面又加了一行：材料体检。

“电镜不只是给芯片‘验尸’的，也是给材料‘体检’的。从源头开始，就把问料掐死。”

车间里又安静了一会儿。

陈光远道：“小吕，你再讲讲，咱们接下来，应该怎么用这双眼睛？”

吕辰沉默了几秒。

他走到白板前，拿起笔，又写了几行字。

工艺监控：每一批片子，抽测关键尺寸，监控工艺漂移。

失效分析：每一个故障芯片，送电镜验尸，分类缺陷，溯源改进。

材料体检：每一种新材料，上电镜看形貌，看断面，看成分，把问题掐死在源头。

技术预研：为2微米、1微米、亚微米做准备，建立测量方法，积累数据。

他放下笔，看着那几行字。

“咱们现在，有了电镜，但不能光看着，要看出门道来。”