倍福文学

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第467章 给星河装上眼睛（第4页）

他走到一个白板前面，拿起笔，写下第一行字：关键尺寸测量。

“咱们现在的设计规则是5微米。”

他转过身，“但5微米到底做出来是多少？光刻机有误差，刻蚀有偏差，最后留在晶圆上的线宽，可能是5.2，也可能是4.8。”

他拿起另一块芯片，是没煮开的，指了指表面那些看不见的线条。

“如果只有4.8，再加上一点点毛刺，两条线就挨上了。挨上了，就是短路。”

他看着文昭南：“文教授，能不能量一下那条线的实际宽度？”

文昭南点点头，把图像移到一片金属走线密集的区域，调好焦距。

电镜上有刻度，可以手动测量。

他量了一条线，又量了旁边的间距。

“线宽，4.9微米。”

他报出数据，“间距，5.1微米。”

吕辰点点头：“看，设计是5微米，做出来是4.9。如果工艺再偏一点，就是4.8，间距就只剩4.7。两条线离得越近，越容易搭上。”

陈光远点了点头：“不错，有了了这个电镜，我们就不用等片子做完，上电测了。以后每一批片子，抽几颗切开来量一量，就知道工艺漂移了多少，是往宽了漂还是往窄了漂。”

吕辰点点头：“这叫工艺监控。”

他顿了顿，又写下第二行字：形貌观察。

“刚才那个击穿点，就是形貌观察。”

他指着屏幕上那个焦黑的熔坑，“你们看，这个坑，周围还有烧焦的痕迹。这说明什么？说明击穿的时候，能量很大，瞬间把硅烧化了。”

他又让文昭南把图像移到另一个地方，那里有一条细细的“桥”

，连接着两条本该分开的金属线。

“再看这个短路的地方。”

他指着那条桥，“不是一整片连在一起，就是一根头丝那么细的东西搭上了。这种桥是怎么形成的？可能是刻蚀没干净，可能是颗粒掉上去，可能是氧化层长了针孔。”

他抬起头，看着众人。

“不同的缺陷，有不同的形貌特征。通过电镜观察，可以把缺陷分类。是工艺问题，比如刻蚀残留；还是环境问题，比如颗粒污染；还是材料问题，比如位错。”

“分类清楚了，改进的方向就清楚了。”