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第460章 极限的边界(第2页)

钱兰点点头,“版图密度太高,最小间距刚好卡在设计规则的下限。晶体管尺寸太小,刚好在击穿阈值的边缘。长走线没有加缓冲器,刚好在延迟容忍的边界。所有地方都是刚好,但工艺不可能每一次都刚好。”

她走回验证台,拿起一块废品芯片,对着灯光照了照:“你们想想,6o颗芯片,41颗短路,而且短路的区域高度一致。这说明什么?说明如果工艺完美地做到中线,这些芯片可能都是好的。但工艺有波动,只要往坏的方向偏一点点,就废了。”

钱兰翻开笔记本,找到她整理的数据:“我统计过,那些短路的芯片,电源线和地线之间的实测电阻不是均匀分布的。有的是o欧,完全短路;有的是几十欧,半短路;有的是几百欧,漏电。这说明什么?说明那两条线并不是真的连在一起了,而是挨得太近,氧化层里有了杂质,或者刻蚀的时候留下了一点毛刺,在电压作用下形成了导通路径。”

吕辰沉默了几秒:“钱师姐说的是,设计规则不是悬崖边上的栏杆,而是安全区。我们要做的,不是在栏杆上走钢丝,而是退后一步,稳稳地站在安全区里。”

诸葛彪也点点头:“有道理啊,咱们是走到悬崖边上了,怪不得风大,退一步,海阔天空。”

钱兰道:“是退一步宽。”

她走回黑板,在刚才那个坐标系旁边,写下两个句话:设计上后退半步,工艺上向前一步。

“咱们双管齐下。”

她说,“设计上,给工艺留出余量。缩窄设计规则,把最小间距从5微米放宽到6微米。关键晶体管做双倍尺寸,提高抗过压能力。长走线上插入中继器,减少延迟。这些改动,会让芯片面积大一点,功耗高一点,但换来的,是芯片能在更宽的工艺波动下正常工作。”

她顿了顿:“工艺这边,优化氧化工艺,降低生长率,提高氧化层致密性。调整掺杂浓度,精确控制扩散炉的温度和时间。提升洁净度,查漏补缺,看有没有哪个环节的过滤器失效了。把工艺的波动范围收窄,让更多的芯片落在设计能容忍的区域里。”

吕辰明白,这不是认输,这是成熟。

第一次流片,凭着一股冲劲,把设计做到极致,把所有参数都推到极限。

然后被现实狠狠地打回来,才现“极限”

不是用来追求的,是用来敬畏的。

真正的工程师,不是能把设计做得多极限,而是能在极限和可靠之间,找到那个平衡点。

他道:“好,那就先改版图,重新流片。”

诸葛彪点点头:“按这个思路改,面积可能会增大15%到2o%,晶体管数量多两三百个。但良率……至少能到3o%以上。”

“3o%也够了。”

钱兰说,“比8%强。”

三个人对视一眼,都笑了。

那笑里没有沮丧,只有一种说不清的轻松,终于找到了真正的病根,终于知道该怎么治。

接下来的日子,三个人开始了漫长而繁琐的修改工作。

先是缩窄设计规则。

吕辰把原来的版图拿出来,一条线一条线地量。

那些间距刚好卡在5微米的地方,全部标红。

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