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第459章 找原因(第6页)

钱兰点点头:“也不是工艺问题?如果是工艺问题,那应该是随机缺陷,不会每一块都打在栅氧化层上。”

吕辰想了想:“那就是设计问题。那个区域的晶体管,尺寸太小了。”

他指着版图上的某个位置:“你看,这里的晶体管,栅长和栅宽都是设计规则允许的最小值。如果工艺有波动,实际做出来的晶体管比设计的还小,电场强度就会增大,过材料的击穿阈值。”

诸葛彪点点头:“有道理。栅氧化层就那么薄,电压一高,就打穿了。”

“得改版图。”

钱兰在笔记本上记下来,“加大晶体管的尺寸,留出足够的余量。”

吕辰看着那几块煮开的芯片,心里有些沉重。

击穿,意味着材料被破坏,意味着那几万伏的电压,在晶圆上留下了永远无法愈合的伤口。

但至少,找到了原因。

谢过文教授,拒绝了顾赟的吃饭邀请,三人一路风风火火的又回到红星轧钢厂。

到食堂找到何雨柱,下了三碗热汤面,匆匆吃完,又来到验证室。

下一个,延迟。

三个人来到验证台前。

那五块能用的芯片,还插在插座上。

诸葛彪接上示波器,把探头点到某个输出脚上。

屏幕上,波形稳定地跳动着。

频率,比设计值低了百分之十五。

“延迟。”

他说,“所有五块都有这个问题。”

钱兰看着屏幕上的波形:“不是个别芯片的问题,是普遍现象。”

“那就不是工艺波动。”

吕辰说,“如果是工艺波动,应该有的快有的慢。现在五块都慢,说明是设计问题。”

诸葛彪想了想:“测一下关键路径的延迟。”

他从实验台下面拿出一堆元件,开始搭一个最简单的环形振荡器。

把芯片上的奇数个反相器尾相连,输出直接反馈到输入,就会自己振荡起来。

振荡频率,直接反映晶体管的开关度。

十几分钟后,环形振荡器搭好了。

诸葛彪接通电源,示波器上立刻出现了一串波形。

频率,比设计值低了百分之二十。

“这么低?”

钱兰皱起眉头,“晶体管的开关度,比预期慢了这么多?”

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