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“对。”
吕辰说,“先查物理层,再查材料层,最后查时序层。一步一步来。”
钱兰翻开笔记本:“那先从短路开始?”
吕辰点点头:“先从短路开始。”
短路,是物理层的硬伤。
意味着芯片内部的金属连线,该断的地方没断,不该连的地方连上了。
电流走错了路。
三人来到验证室,把那41块短路的芯片拿出来,摆在实验台上。
一排排黑色的小方块,像41座沉默的墓碑。
吕辰拿起一块,插进测试板,用万用表测电源和地之间的电阻。
零。
他把芯片取下来,换一块,还是零。
再换,零。
一连测了1o块,全是零。
但这次,他不只是测电阻,他还把万用表的两个表笔,分别扎在芯片不同区域的电源和地引脚上。
左手边的电源和左手边的地,测一下。
右手边的电源和右手边的地,测一下。
上边的,下边的,中间的……
一块芯片,测了十几个点。
诸葛彪和钱兰在旁边看着,谁也没说话。
测完第1o块,吕辰抬起头。
“不是全片短路。”
他说,“短路只集中在几个区域。”
他在一张纸上画了一个芯片的简图,然后在左下角画了一个圈。
“这里,寄存器堆的位置。几乎所有短路的芯片,这个区域都是短路的。”
钱兰凑过去看:“寄存器堆……那是版图密度最高的地方。”
吕辰心里一动:“密度太高,工艺波动导致金属桥接?”
“有可能。”
诸葛彪说,“五微米工艺,线条宽度五微米,间距也是五微米。如果版图上某一片区域密密麻麻全是线,光刻的时候,稍微有点偏差,两条线就可能挨在一起。”
他拿起一块废品,放到显微镜下,沿着电源总线,一点一点看过去。
看得很慢,很仔细。
看了十几分钟,他直起腰,摇了摇头。
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