倍福文学

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第421章 电镜关卡（第2页）

光刻要对准，薄膜要测厚，刻蚀要看形貌，掺杂要看深度，键合要看界面。

没有电镜，这一切全是盲人摸象。

你可以把光刻机调得再平，把纯水的电阻率提到18.3，把洁净车间的尘埃粒子压到个位数，但只要你看不见那些微米级的沟槽、亚微米级的缺陷、纳米级的氧化层，你就永远不知道自己做对了没有，错在哪里。

63o5厂的工艺调试，需要的不是5oo埃。

是1oo埃以下。

甚至，未来的某一天，是5o埃、2o埃、1o埃。

吕辰睁开眼睛，拨通了刘星海教授的电话。

下午三点，吕辰站在刘星海教授办公室门口，还没敲门，里面就传来声音：“进来。”

刘星海靠在椅子里，手里拿着那份1962年星河计划第三次会议纪要的复印件，翻到第三页。

那一页上，白纸黑字，写着：“电子光学仪器攻关协作组任务分工。”

北京大学：电子光学理论、电磁透镜设计、系统总体方案；

清华大学：机械结构设计、自动控制系统、总装集成与测试；

北京电子管厂：电子枪试制、高压电源、部分真空部件；

北京真空电子技术研究所：真空系统设计与集成、样品室、工艺经验支持；

长春光机所：精密光学机械加工；

红星工业研究所：控制电路、信号处理、项目协调与资源保障；

工业学院文昭南教授团队：信号检测理论与方案、跨单位技术衔接。”

刘星海把纪要放下，摘下老花镜，慢慢擦拭镜片。

“电镜的事，我知道了。”

他没有看吕辰，目光落在窗外灰蒙蒙的天际线上。

“你打算怎么办？”

吕辰把在真空所电话里听到的情况，一五一十说了。

工业学院的文昭南教授，北大物理系电子系吴教授，清华电子系林教授、北京电子管厂的李总工，真空所的工程师顾赟。

这些人，从1962年冬天起，就背着“电镜组”

的担子。

三年了。

吕辰汇报完，办公室里安静了很久。

刘星海慢慢把老花镜戴上。

“你打算派谁去？”

“我申请组织一次专家会诊。”

吕辰说，“由63o5厂牵头，把参与电镜研制的所有单位、以及星河计划里相关领域的专家，全部请到真空所去。在现场看机器，听问题，分头把脉，逐条开方。”

他顿了顿：“这不是哪个环节出了孤立故障。这是整套系统走到极限之后，暴露出来的、深埋在技术体系里的结构性难题。必须多兵种联合作战。”