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“o.o8也不行。”
王师傅很固执,“我干这行三十年了,安装过苏联的机床,德国的精密仪器。我知道图纸要求是最低标准,但实际安装,要按最高标准来。这台光刻机,将来是要造芯片的,芯片是要上天入地的。你现在差o.o8,设备运行一段时间后,温度变化、地基沉降,误差会放大。到时候调都调不回来。”
“可是……”
“没有可是。”
陈光远走了过来,他看了看水平仪的数据,又看了看那个打磨得光滑如镜的基座,沉声道,“按王师傅的来。继续打磨,直到±o.o5以内。”
年轻的施工员张了张嘴,最终没再说什么,转身去拿打磨机了。
王师傅朝陈光远点点头,没说话,继续蹲下调整水平仪。
“这就是我们需要的态度。”
刘星海教授轻声和身边的王先生说,“集成电路,玩的就是极限。差一丝,满盘皆输。”
最后,众人来到连接动力中心与主厂房的综合管廊。
这是一条地下通道,宽四米,高三米,两侧墙壁上布满了各种支架。
粗大的管道在头顶和身边延伸,望不到头。
纯水管、气体管、消防管、真空管、电缆桥架……。
它们平行排列,互相之间保持严格的间距,避免相互干扰。
管廊里灯光昏暗,只有几盏防爆灯出黄晕的光。
空气中有淡淡的金属和油漆味,还夹杂着一丝潮湿的泥土气息。
“这里将来是厂区的‘生命线’。”
动力中心的负责人介绍,“所有水、电、气、化学品,都通过这里输送到各车间。管廊做了防水、防潮、防腐蚀处理,还安装了温湿度监控和泄漏报警系统。”
数学所的陈教授伸手摸了摸一根蓝色的管道。
管壁冰凉,表面光滑,接缝处的焊缝几乎看不见。
这根管道里将来流淌的,是经过十几道工序提纯的纯水,电阻率要达到18.2兆欧·厘米,几乎不含任何杂质。
那是芯片的“血液”
。
参观持续了两个小时。
当众人从厂房走出来时,阳光已经升得很高,照在身上暖洋洋的。
但厂房里那种肃穆、冷峻、精密的气氛,还萦绕在每个人心头。
“和想象中不一样。”
孙老深吸一口气,“我以为会是那种灯火通明、设备林立的工厂。没想到……现在还像个巨大的空壳子。”
“空壳子才好。”
刘星海教授道,“建筑是骨骼,设备是肌肉,工艺是灵魂。骨骼要先搭好,要正,要稳,要留有生长空间。”
刘星海看了看手表:“十点半了。回去开会吧。”
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