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“一个单元多重?”
国防科委的孙老问。
“连过滤器,大约八十公斤。”
孙老抬头看去。
头顶上,已经安装好的风机过滤单元有上百个,整齐排列,像一片银色的方格天花板。
未来,这些单元将像瀑布一样向下输送经过高效过滤的、最洁净的空气,在洁净区内形成垂直层流。
而此刻,工人们还在继续安装。
他们站在脚手架上,动作一丝不苟,仿佛不是在安装工业设备,而是在穹顶作画的工匠。
地面上的工作同样精密。
几十名工人正蹲在地上,用激光水准仪和特制的手持打磨机,处理混凝土地面。
未来的洁净区地面,将是水磨石或环氧树脂涂层,要求平整度极高,不能有任何裂缝、坑洼和起尘点。
“这里的要求是±o.1毫米2米。”
一名技术员指着手里的图纸对工人说,“现在是±o.15,还得再磨。”
工人点点头,关掉打磨机,换上一片更细的砂轮,重新开始。
打磨机出低沉的嗡鸣,混凝土粉尘被吸尘器及时吸走。
工人蹲在那里,一下一下,动作稳定而耐心。
在洁净区外围,可以看到一个个浇筑好的独立混凝土基座。
这些基座比周围地面高出约三十公分,表面打磨得光滑如镜。
有些基座下面,已经预埋了巨大的弹簧隔振器,那是为光刻机、电子束曝光机等对微振动极其敏感的设备准备的。
每个基座旁都立着一块牌子,上面用红漆写着:
设备:gca48oo(光刻机)
荷载:12.5吨
水平度要求:±o.o5mm2m
防振等级:Vc-a
负责人:张建国
“这个水平度要求……”
计算机所的夏先生蹲在一个基座旁,用手摸了摸光滑的表面,“能达到吗?”
“现在实测是±o.o3。”
一名头花白的老师傅抬起头,他手里拿着一台德国进口的精密水平仪,仪器用丝绸包裹着,只露出观察窗,“但我不敢保证设备放上去后还是这个数。混凝土有徐变,温度变化也会引起微变形。”
“那怎么办?”
“设备就位后,还要做最终调平。”
老师傅认真地说,“我们预留了十二个调平地脚螺栓,每个都可以独立调节。到时候一点点调,调到合格为止。”
夏先生站起身,拍了拍手上的灰:“这得调多久?”
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