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这个现如一道闪电!
原来问题可能出在最前端,硅片清洗!或者硅片本身的表面状态!
他们立刻调整方向。
纯水系统的沈工被再次推到风口浪尖。
他们对每一道清洗步骤(sc-1,sc-2,dhF)的溶液纯度、温度、时间进行了最严格的标定和复核。
同时,紧急协调半导体所,要求提供表面状态更均匀、更清洁的硅片。
与此同时,另一个“鬼影”
在金属化环节浮现。
蒸镀铝的电极,时好时坏。
好的时候电阻正常,坏的时候干脆断路。
负责真空镀膜的老师傅,凭几十年的经验感觉是“真空度不够,铝膜纯度有问题”
或者“蒸率太快,膜层应力大”
。
但他没有证据。
这时,那台还在北京电子管厂攻关的“扫描电子显微镜原型机”
传来了一个阶段性进展,他们终于能够稳定地获得低分辨率的表面形貌图像了,虽然还不如高级光学显微镜清楚,但能看到一些光学显微镜看不到的细节。
一块镀铝后断路的芯片被紧急送去。
几天后,模糊但足以说明问题的照片回来了。
在铝线的某些部位,分布着细小的“孔洞”
和“晶须”
!
“是铝膜质量问题!蒸源钨丝篮可能不干净,或者铝料纯度不够!”
老师傅一看照片就激动了。
又是一轮紧急排查和物料溯源。
最终,问题锁定在一批国产高纯铝粒上,其微量元素含量标,在蒸过程中形成了杂质偏聚。
一个个“鬼影”
被这样揪出。
可能是空气中一道不经意的气流,可能是水中一个ppb级的离子,可能是材料中一个ppm级的杂质,可能是操作中一秒的温差……
中试线就像一台精密而脆弱的仪器,任何微小的扰动,都会在最终的产品上被放大成灾难。
在这个过程中,吕辰牵头编写的《异常报告与故障分析流程》挥了巨大作用。
每一个异常,无论多小,都被记录、编码、归档。
数据开始积累,案例库开始丰富。
人们开始慢慢理解,为什么吕辰要如此“繁琐”
地强调数据、强调规范、强调记录。
因为在这些纠缠不清的“鬼影”
面前,个人的经验和感觉,是如此苍白无力。
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