倍福文学

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第406章 新春驯虎忙（第5页）

光刻机，那台由长光所精心改进的半接触式光刻机，在自重数吨的花岗岩平台和包康建教授团队设计的“被动-主动复合隔振系统”

上，终于达到了令人满意的静态稳定性。

然而，当第一次进行真正的光刻对准时，问题来了。

在双筒对准显微镜下，操作员试图将掩模版上的图形与硅片上的标记精确套合。

每当他认为已经对准，准备曝光时，图形总会生微小的、难以解释的漂移。

有时向左几个微米，有时又向上跳动一下。

“像是……它在自己呼吸。”

操作员小杨，一位从兰州51o所抽调来的年轻技术员，沮丧地摘下眼镜揉着眼睛。

“不是呼吸，是‘热膨胀’在捣鬼。”

长光所的光机专家卢工，指着光刻机内部复杂的金属结构，“机器自身光源的热量、环境温度的细微波动，都会让这些金属杆、透镜座生微米级的伸缩。我们的控制系统，还没有聪明到能实时补偿这种变化。”

这不是设计缺陷，而是国内材料工艺和控制理论面临的普遍天花板。

解决方案来自一次意外的碰撞。

一天中午，负责设备冷却水循环的老师傅牛大群，现光刻机自带的循环水温控器不太灵光，水温波动过了规定值。

他嘟囔了一句：“这玩意儿，还不如咱厂里热处理炉子上的‘掐丝珐琅’控温稳当。”

这话被旁边正在啃冷馒头的吴国华听见了。

他猛地停下咀嚼。

“牛师傅，您是说……用我们自己的‘掐丝珐琅’温控模块，来给光刻机的冷却水和关键结构做主动温补？”

“啊？我随口一说……”

牛大群挠挠头。

但吴国华的眼睛亮了，他立刻找来诸葛彪和钱兰。

几天后，一套粗糙但构思巧妙的“分布式温度监测与微加热补偿系统”

被设计出来。

他们在光刻机几个关键的热膨胀敏感部位贴上了热电偶，并用“掐丝珐琅”

工艺制作了微型的薄膜加热片和pId控制电路。

系统实时监测温度，并通过微加热反方向补偿热胀冷缩。

原理简单，实现极难。

加热片的功率要精确到毫瓦级，否则会引入新的热干扰。

pId参数需要反复调试。

那几天，光刻机旁成了不眠之地。

吴国华、诸葛彪、小杨和牛大群轮番上阵，盯着示波器上的温度曲线和对准标记的位移数据，像一群试图驯服烈马的骑手。

终于，在第三个凌晨，当环境温度又经历一次小幅下降时，屏幕上的对准标记稳稳地停住了，几乎没有晃动。

“成了！”

小杨出一声压抑的欢呼，眼眶瞬间红了。

这只是“设备驯服”

战役中的一场小胜。