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第406章 新春驯虎忙（第3页）

“岳教授，梁工那边催了，垂直层流工作台的箱体本周必须密封检漏。可高效过滤器不到货，我们这‘洁净岛’就是无源之水。”

压力，像车间里日益浓厚的金属和灰尘的味道，无处不在。

陈光远看着外面阴沉的天。

他想起邓教授的论文，此刻正在国际学术界引起阵阵波澜，吸引着对手的目光和资源。

而他们这里，却在为最基础的空气过滤愁。

“不能等。”

陈光远声音不高，但斩钉截铁，“两条腿走路。汤教授，你带人继续攻流延法，但目标调整：不求大面积薄片，先试制小尺寸、高强度的多孔陶瓷过滤单元，哪怕只够给关键设备做自带送风头的终极过滤段。”

“那主要的送风系统呢？”

岳伴问。

“用夹心饼干。”

陈光远指指那个简陋的过滤器，“但不是最终方案。郑老师，你配合岳教授，把它升级。我们不用玻璃纤维棉了，那东西确实爱掉渣。我去打听，有没有够细够结实，本身不产尘的其他纤维材料。”

岳教授点点头：“去纺织研究院找找，还有，造纸厂也许有门路。”

就是这种思路，他们缺的不是聪明才智，是信息和材料。

陈光远又道：“另外，梁工那边，层流罩的密封和检漏标准不能降。过滤器我们可以后续更换，但结构密封一旦留下隐患，未来就是灾难。”

陈光远风风火火的离去，吕辰走到车间中央，那里用石灰画出了光刻机和涂胶台的预定位置。

哈工大的包康建教授，正带着人用水平仪和自制的准直望远镜，反复调整一个混凝土基础块的水平。

“包教授，微振动测试怎么样了？”

包康建直起腰，揉了揉后颈。

“独立基础浇筑得很扎实，我们用的钢丝绳隔振器初步测试，能滤掉大部分来自地面的中高频振动。”

他指着窗外隐约可见的铁轨，“但是，火车经过时的低频振动，尤其是那种‘轰隆隆’的次声波，隔振器效果有限。而光刻对准，最怕的就是这个。”

“有什么办法？”

“加质量。”

包康建言简意赅，“给光刻机自身再加一个高质量的平台，最好是花岗岩的，质量越大，惯性越大，越难被低频振动带动。但问题是……上哪找那么大、那么平的花岗岩？而且怎么运进来，怎么安装？”

又是材料，又是加工。

吕辰也感觉太阳穴在跳，他知道，这只是开始。

洁净、振动、水电风气……，七只老虎，环环相扣，一只比一只凶猛。

“包教授，花岗岩我来想办法。”

吕辰深吸一口气，“您先按照最理想的方案设计平台结构和隔振系统。材料问题，我们一起攻克。”

就在这时，上海医工院沈工程师，一脸铁青地快步走来。