倍福文学

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第402章 打虎硬上（第3页）

特制的钢丝绳隔振器和空气弹簧组合隔振平台，由机床研究所和红星所机械加工车间联合试制。

第一批样品的阻尼特性不理想，在模拟振动台上测试时，共振峰值过高。

包教授连夜调整参数，重新设计内部结构，第二批样品才基本满足要求。

热补偿管道的安装考验的是细心和经验。

连接扩散炉的冷却水管、工艺气管，全部换成了不锈钢波纹管。

安装时，必须根据设备冷热态的位移量，精确计算波纹管的预拉伸或预压缩量，并设置好导向支架，防止管道扭曲或承受额外应力。

老师傅们拿着尺子和水平仪，反复测量调整，嘴里念叨着：“热胀冷缩，差之毫厘，谬以千里。”

为了治理“脏”

电，广播局和武水院的团队使出了浑身解数。

“工业级精密电源柜”

的研制并不顺利。

宽范围输入的交流稳压器，在负载突变时响应度不够快，导致输出电压有毛刺。

飞轮储能装置的小型化是个难题，高旋转下的动平衡和轴承寿命需要反复测试。

老周师傅贡献了广播设备的“稳压稳流”

电路经验，结合武水院的电力电子技术，对电路进行了一次次修改调试。

第一个原型柜做出来，体积有半个衣柜大，噪音像台小型电机，但测试显示，它确实能在市电瞬间跌落2o%的情况下，维持输出稳定5o毫秒以上。

“先解决有无问题，再解决好坏问题！”

老周师傅抹了把汗，对略显失望的年轻人说，“这大家伙，先给光刻机用上。其他的关键设备，咱们再做小一点的、安静一点的改进型。”

整个中试线区域的供电改造同步进行。

重新铺设了独立的供电电缆，尽量远离大功率负荷。

接地系统重新设计，采用了网状接地结构，降低接地电阻，确保所有设备有一个干净、稳定的地电位参考。

材料界面问题，虽然设备还没到场，但故障中心也在积极准备。

他们在中试线规划中专门设置了一个“故障分析样品制备间”

和一个“数据记录中心”

。

任何工艺异常产生的硅片，都必须按照规范进行标识、包装、记录异常现象和工艺条件，然后送往“样品制备间”

，由专人进行非破坏性的初步检查，并切片、制作后续分析的样品。

同时，所有相关的设备运行数据、环境参数、操作记录，都必须誊抄或复制一份，存入“数据记录中心”

归档。

这些，都将作为送往上海进行分析的“病历”

附件。

知识转型，贯穿于整个建设过程，润物无声，却也阻力重重。

吕辰牵头，组织各区域负责人和骨干操作员，开始编写《中试线标准操作规程（草案）》。