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化学安全实操区需要大量通风,但为了保持准洁净区的正压,希望尽可能减少换气次数。
“这是安全与洁净的矛盾,”
化工专家在协调会上直言,“存放化学品的区域,必须保证足够的通风换气次数,否则一旦泄漏,后果不堪设想。”
“但过多的新风会影响洁净区的温湿度和颗粒物浓度。”
双方争执不下。
最终决定,把化学安全实操区移到准洁净区的下风向,并用实体墙完全隔开。
两个区域各自独立送排风,互不干扰。
化学区保持高换气次数,洁净区保持正压和低换气次数。
这个方案让风管布置的复杂度直线上升。
但再复杂也要做,在安全面前,其他都要让步。
建筑团队连夜修改图纸,增加了隔离墙和独立的风管系统。
另一个冲突生在设备操作流程上。
老周坚持光刻操作必须严格按照“手感”
来,对焦时先粗调、再微调,转动旋钮要“轻、慢、匀”
;曝光时间要凭经验估算,因为这光刻机没有定时器。
但谢凯希望把一切“数据化”
,对焦应该用千分表测量距离,曝光时间应该用秒表精确控制。
“你那套太死板!”
老周不满,“芯片生产是手艺活!手感!感觉!这些数据教不出来!”
“但手感无法复制、无法传承!”
谢凯耐心解释,“今天您手感好,对准了;明天换个人,可能就偏了。必须建立标准的操作流程和参数!”
这个问题,最终吵到现场会上。
经过半天争论,吕辰建议把操作分成三个层次。
第一层是规范动作,比如拿硅片必须用真空吸笔,不能用手直接碰;放置硅片必须先对基准边。
这些是铁律,必须严格遵守。
第二层是参数范围,比如对焦距离应该在x±o.o1毫米范围内,曝光时间应该在y±5秒范围内。
这些是科学,是可测量的。
第三层才是经验微调,在参数范围内,根据当天的温度、湿度、光刻胶批次等具体条件,做细微调整。
这需要经验,但经验是在前两层基础上积累的。
最终,宋颜教授拍板定调。
他看向双方:“周师傅,您能不能把您的手感,分解成规范动作和参数范围?比如您说的‘轻、慢、匀’,能不能量化?‘轻’是多大的扭矩?‘慢’是多长时间转一圈?”
老周缓缓点头:“我试试……把我那套手感写下来。虽然写出来可能就不对味了。”
谢凯道:“我们可以设计一套记录表,把每次微调的参数和结果都记下来。积累多了,也许能找到规律。”
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