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第345章 宝鸡有色金属厂（第4页）

钱兰凑近仔细观察：“这套系统，对环境的震动、温度波动敏感吗？”

“非常敏感。”

周工苦笑，“所以我们给整个控制台做了隔震基础，下面铺了橡胶垫和弹簧。车间空调是二十四小时恒温恒湿，温度控制在22±0.5摄氏度，湿度50%±5%。就这，有时候外面过重型卡车，或者刮大风，数据还会跳。”

这套系统的原理是先进的，但实现方式还很土法，依赖手工调试和经验。

不过，这正是中国工业当下的真实写照，用有限的资源，做无限接近极限的事。

“周工，”

吕辰问，“如果我们要镀的不是抛物面，而是平面的硅片，尺寸更大，比如直径150毫米，均匀性要求±0.05微米，能做到吗？”

周工和胡教授对视一眼。

“理论上可以，”

胡教授谨慎地说，“但需要重新设计夹具和旋转轨迹，优化蒸发源的分布。最关键的是，监测系统要升级。现在的系统是单点测量，如果要保证整片硅片的均匀性，可能需要多点测量，甚至扫描测量。”

“而且真空腔体要扩大。”

周工补充，“150毫米的硅片，加上夹具和旋转空间，现有的腔体装不下。要重新设计制造，这需要时间和经费。”

吕辰点点头，他理解这种制约，但更看到了可能性。

这个实验室已经掌握了微米级薄膜沉积的核心技术，缺的是系统化和工程化。

随后，在周工和胡教授的带领下，他们又参观了有色金属厂自行研制的亚微米级定位工作台，台面下有一套液压伺服系统，能实现X、Y、Z三轴运动，定位精度理论值0.1微米。但受限于电机与模拟控制，精度还差点意思，周工表示，如果用上红星所的脉冲电机和数字控制系统，性能至少能提升一个数量级。

最后，他们来到材料提纯车间，参观真空感应熔炼炉。

这是提炼超高纯稀有金属的设备，主要产品是钽、铌、钨等用于电子管和特种合金。

纯度99.9%的粗金属，通过真空熔炼，挥发掉低沸点杂质，再经过区域熔炼，进一步提纯，最高能做到99.999%的纯度。

纯度检测是取样做光谱分析，通过设备只能测到四个九，更高的纯度主要凭经验，看熔炼时金属液面的光泽，看凝固后的晶粒大小和颜色来分辨。

吕辰认为，如果能把兰州大学的放射性同位素示踪技术用在这里，就能直观地看到杂质在熔炼过程中是如何分布、如何被去除的，从而优化工艺参数，把经验变成科学。

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参观完毕，五人回到三楼的会议室。

窗外的天色已经暗了下来，远处的厂房亮起了灯光，像散布在暮色中的星辰。

胡教授重新泡了茶，五人围坐在会议桌旁，桌上摊开着图纸、报告、样品。

“周工，胡教授，”

吕辰先开口，“想必我们的来意你们也清楚了。‘星河计划’的目标是发展中国自主的集成电路产业。芯片制造需要高纯度的金属靶材，比如金、铝、钛，用于薄膜沉积。也需要高精度的镀膜工艺和监测技术，还需要特种材料的精密加工能力。”

周工点头：“我们清楚集成电路对材料纯度、工艺精度、环境控制的极端要求。不瞒你们说，从去年‘星河计划’立项的消息传出来，我们就在想，实验室的这些技术，能不能在芯片领域找到用武之地。”

胡教授接过话头：“那个卫星天线反射面板的镀金工艺，是我们当前能达到的微米级精度加工、测量、控制技术的集中体现。从去年开始，我们就刻意把控制目标定在±0.1微米，因为我们认为，这个精度水平，已经接近集成电路制造的需求。”

他顿了顿：“现在看来，技术原理上是相通的，但需要针对芯片制造的特点进行适配和优化。”

“这正是我们需要合作的领域。”

吕辰诚恳地说，“红星所在自动化控制、传感器技术、抗干扰设计方面有些积累。我们可以提供脉冲电机和数字控制系统，升级你们的定位工作台。也可以协助优化镀膜机的监测系统，提高其稳定性和抗干扰能力。”

吴国华补充：“我们还在和兰州大学合作，研究放射性同位素示踪技术。如果用在你们的材料提纯工艺上，可以可视化杂质分布，优化熔炼参数，把纯度从五个九提升到六个九，甚至更高。”

钱兰翻开笔记本：“还有环境控制。芯片制造需要超净车间，恒温恒湿，防震。你们在镀膜车间已经建立了基础的环境控制体系，我们可以把在轧钢厂自动化项目中积累的环境控制经验分享过来，共同制定更高标准。”

“这样，”

周工说，“我们拟一个合作备忘录，明确几个方向。”

双方经过商量，最终定下高纯度金属靶材研制、精密镀膜工艺开发、特种加工设备升级、环境控制标准制定、人才联合培养、前瞻技术预研六个方向的合作备忘录。

五人依次签名，一纸简单的备忘录，没有华丽的辞藻，没有繁复的格式，只有五个人对技术报国的郑重承诺。

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