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珞珈山北麓,东湖之滨,一片错落有致的楼房依山而建。
红砖墙,灰瓦顶,绿树掩映,环境清幽。
校门口悬挂着白底黑字的牌子:“武汉水利电力学院”
。
车子驶入校园,虽是冬季,但校园里依然绿意不减。
高大的香樟、女贞树叶色深绿,路边的冬青修剪整齐。
学生们穿着蓝布或绿布棉袄,抱着书本匆匆走过,有的在布告栏前驻足观看。
招待所是一栋三层的红砖楼,条件比他们在西安住的电机厂招待所要好一些。
房间里有暖气片,虽然温度不高,但至少不像外面那么湿冷。
窗户对着东湖,可惜今天阴天,湖面灰蒙蒙的,看不真切。
简单洗漱后,三人下楼,周老师已经在楼下等候。
“座谈会安排在电力楼二楼会议室。”
周老师边走边介绍,“除了陈副院长,还有电力系统教研室的刘教授、高电压教研室的王教授、自动控制教研室的李教授参加。他们都是院里相关领域的权威。”
电力楼是一栋四层的苏式建筑,走廊宽敞,水磨石地面光可鉴人。
二楼会议室里,长条会议桌旁已经坐了几个人。
居中是一位六十岁上下、头发花白、戴着黑框眼镜的老者,面容清癯,目光锐利。
他便是陈副院长,我国电力系统稳定与控制领域的奠基人之一。
“欢迎欢迎!”
陈副院长站起身,与三人握手,“宋教授,久仰大名。你们在轧钢厂搞的自动化了不起!”
一番寒暄后,众人落座。
会议室里生了炭火盆,温度比外面高不少。
工作人员端上热茶,白瓷杯里茶叶舒展,热气袅袅。
“客套话不多说了,咱们直接进入正题。”
陈副院长开门见山,“你们提交的这份技术清单,我们仔细研究了。特别是关于集成电路制造对电力品质的要求,电压稳定性±0.5%、频率稳定性±0.01Hz、谐波畸变率小于3%、瞬间断电切换时间小于10毫秒……这些指标,坦率地说,已经超出了我国目前工业电网的最高标准,甚至比一些重点实验室的要求还要苛刻。”
他顿了顿,目光扫过三人:“我想先听听你们的想法。为什么芯片制造需要这么极致的电力品质?这些要求是怎么得出来的?”
宋颜教授示意吕辰回答。
吕辰清了清嗓子,从随身的公文包里拿出几张图纸。
“陈院长,各位教授,请允许我以最直观的方式说明。”
他将图纸摊在桌上。
那是几张手绘的示意图,画着光刻机的曝光过程、薄膜沉积的反应腔、离子注入的束流控制。
“芯片制造的核心,是在硅片上‘雕刻’出纳米级的结构。以光刻为例——”
吕辰指着第一张图,“紫外光通过掩模版,在涂有光刻胶的硅片上曝光。曝光时间精确到毫秒级,光强要均匀,任何波动都会导致线宽变化。”
他又指向第二张图:“化学气相沉积,反应气体在高温下分解,在硅片表面生长薄膜。温度控制要精确到±0.1°C,气体流量要稳定。电源的任何波动,都会影响加热器的温度,进而影响薄膜的厚度和均匀性。”
“最敏感的是测量和控制系统。”
吕辰翻到第三张图,“扫描电子显微镜的电子束定位精度要达到纳米级,控制信号是微伏级别的。电网中的任何谐波干扰、电压闪变,都会像噪声一样淹没这些微弱信号,导致测量失真、控制失灵。”
他抬起头:“所以,电力对于芯片制造,不是简单的‘能源供应’,而是‘环境参数的基础’。就像盖房子需要平整的地基,芯片制造需要纯净、稳定、可靠的电力环境。没有这个基础,一切精密工艺都无从谈起。”
会议室里安静了几秒钟。
几位教授互相交换着眼神,显然认可了吕辰的说法。
“说得很好。”
陈副院长缓缓点头,“从系统需求倒推技术指标,这是工程思维的核心。你们不是盲目追求高标准,而是基于工艺需求提出了明确的技术要求。这比单纯说‘我们要最好的电’要有说服力得多。”
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