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第291章 强大的真空所（第2页）

、“电子束实验间”

……透过门上的玻璃窗，能看到里面摆满了各种自制的设备：缠绕着铜丝的线圈、玻璃与金属拼接的奇异装置、闪烁着暗红色光芒的电子管、绘满曲线和公式的黑板。

真空泵的低沉轰鸣、变压器的轻微嗡鸣、继电器的咔嗒声、算盘的噼啪声交织在一起。

“这边请。”

顾赟领着他们上到二楼，在最里面的一间大实验室门前停下。

推开门，眼前的景象让吕辰屏住了呼吸。

这是一间约八十平方米的实验室，窗户被厚厚的黑色窗帘遮住，只留几盏白炽灯提供照明。

房间中央，矗立着一个庞大而粗糙的装置，真空薄膜沉积系统。

它的主体是一个巨大的玻璃钟罩，直径约一米，高约一米五，像一只倒扣的透明巨碗。

钟罩下方是不锈钢制成的基座，布满螺栓和密封槽。

基座中央，固定着一个石墨坩埚，周围缠绕着自制的高电阻加热丝，那是由细镍铬丝手工绕制而成的，已经因高温而氧化成暗红色。

从钟罩顶部伸下几根不锈钢管道，连接着几个手动气路阀门，阀门上贴着写有“N?”

、“NH?”

、“SiH?”

等字样的纸片。

管道的另一端，连接着墙角一排锈迹斑斑的钢瓶。

装置侧面，一台沉重的机械旋片真空泵正在工作，带动着整个地面微微震颤。

一根橡胶管从泵体伸出，通入旁边一个大铁桶，那是自制的冷却水循环系统，铁桶边缘还有漏水的痕迹。

没有数字显示屏，没有计算机控制台。

只有老式的仪器，一个热偶真空计，靠水银柱的高度显示真空度；几块指针式的电流表和电压表；一台自制的温度控制器，上面是粗糙的旋钮和刻度。

墙上贴满了手工绘制的图表，温度-时间曲线、气压-流量关系图、薄膜厚度与沉积速率对照表……都是用铅笔和三角尺绘制，线条工整，数据密密麻麻。

最引人注目的，是站在装置前的一位老师傅。

他约莫五十岁，身材瘦削，穿着深蓝色的工装，袖口挽起，露出布满烫伤和酸蚀痕迹的手臂。

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他戴着一副用胶布粘着镜腿的老花镜，正俯身观察真空计的水银柱，手指轻轻调节着一个针阀。

他的动作极其缓慢、极其轻柔，仿佛不是在操作机器，而是在雕琢一件易碎的艺术品。

“刘师傅正在做一批氮化硅样品。”

顾赟低声介绍，“今天运气好，正好赶上完整的工艺过程。”

几人安静地站在一旁观察。

刘师傅先检查了基片，那是几片一寸见方的玻璃片，已经经过严格的清洗，在灯光下晶莹剔透。

他用特制的镊子将基片放入钟罩内的样品架上，动作很稳。

然后按下启动按钮，真空泵的轰鸣声陡然增大。

刘师傅盯着热偶真空计，水银柱开始缓慢下降。

这个过程持续了将近二十分钟，期间刘师傅不时用改锥轻轻敲击管道的某些部位，侧耳倾听，像是在诊断病人的心跳。

“他在查漏。”

文昭南教授低声解释，“微漏是真空系统的大敌。我们没能力买进口的氦质谱检漏仪，就用土办法，有时候用酒精涂抹可疑部位，看真空度变化；有时候充入氢气，用自制探测器找漏点。”

终于，真空度达到了要求，大约10??托。

接下来是预热。