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第281章 光学圣地（第3页）

第二天清晨，起床铃响。

吕辰拉开窗帘，东方天际泛着鱼肚白，园区路灯还亮着，几个早起的人影已在主楼前走动。

早饭后，众人开始参观，第一站是光学加工车间。

推开厚重的隔音门，一股混合着冷却液、抛光粉和金属的气息扑面而来。

车间灯火通明，一排排抛光机轰鸣运转。

每台机器前站着工人，身穿深蓝色工装，专注地观察镜片与抛光模的接触，不时添加乳白色的抛光粉悬浮液。

“这是古典抛光法。”

张工介绍，“工人靠手感控制压力、速度和抛光时间，最终要让表面粗糙度达到纳米级。”

操作工人是个四十多岁的老师傅，眼神专注得像在雕琢艺术品，他双手轻扶抛光模边缘，通过细微调整控制抛光压力分布。

车间墙上贴着巨幅质量控制标准：

透镜中心偏差：不得大于0.5秒

面型精度：λ10（λ=632.8nm）

表面粗糙度：Ra≤1nm

这些数字背后是近乎苛刻的精度要求。

0.5秒的角度偏差，相当于在100米距离上偏差不到0.25毫米；λ10的面型精度，意味着镜片表面起伏不能超过63纳米——不到头发丝直径的千分之一。

哈工大的周工，拿起一台振动测量仪贴在机架上。

他指着手持仪表的指针，对吕辰等人说道：“我们怀疑工作台定位精度不够，部分原因是抛光机振动传导。你看这读数，机器一开，基础振动就传到整个车间。虽然光刻机有隔振地基，但低频振动很难完全隔离。”

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陈光远叹气：“这是老问题了，厂里机床多，重型设备一开，地面都颤。我们抛光最怕这个，一震，镜片表面就出波纹。”

“想过主动隔振吗？”

宋颜教授问。

“想过，但成本太高。”

周工摇头，“一套气浮隔振平台，得进口，外汇批不下来。我们现在用橡胶垫加弹簧，效果有限。”

离开光学车间，下一站是装调实验室。

实验室里，几张庞大的花岗岩光学平台占据大部分空间。

平台上，复杂的系统正在装调：激光器、透镜组、反射镜、分光棱镜……构成一条条精密光路。

科研人员趴在平台旁，眼睛紧贴自准直仪或显微镜目镜，一只手缓缓旋转微调旋钮。

动作轻柔得仿佛呼吸重一点都会影响精度。

一位位三十来岁的女科研人员在旁边记录着数据，上海机床厂的刘工拿把笔记本拿了起来，上面密密麻麻写满了数据：温度、湿度、调整步骤、检测结果……

刘工指了指笔记本：“受你昨天的启发，我觉得应该系统记录。你看这位女同志，她调这个光谱仪系统已经三天了。我问她调了什么、为什么这么调，她只能说‘感觉’。这不行，经验必须能传递。”

女科研有些不好意思：“刘工说得对。我们光学装调，很多时候确实靠‘感觉’。看干涉条纹的形状，就知道哪里高了低了。但要说清楚为什么，难。”

“那就从记录开始。”

陈光远强调，“每次装调，记录下所有可量化的参数：室温、湿度、每个调整螺丝转了多少度、调整前后的干涉条纹变化。时间长了，数据多了，也许能找出规律。”

第三站是精密机械车间。

车间里机床轰鸣，空气中弥漫着切削液的味道。

这里加工的是光刻机原型机的机械部件。

车间中央，一台大型龙门铣床的工作台上固定着光刻机工作台基座，老师傅正用千分表测量平面度。

武水院的赵工表情严肃：“昨天晚饭后，我测了所里几个点的电压，波动比想象中大。你们看这个插座，标称220伏，实测在210到230之间跳。频率也不稳，49.8到50.2赫兹。”

“对光刻机影响大吗？”