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5月31日下午,星源科技光学研中心。
此时虽值假期,但负责照明系统攻坚任务的上百名研工程师,却大多都在实验台前忙碌着。
“面形精度34皮米!”
“钼硅多层膜的表面粗糙度为46皮米!”
“光能利用率91%!”
“照明均匀性过了98%!”
突然,测试组的一名年轻工程师大声喊道。
其他人闻声,不约而同地停下了手中工作。
“哈哈哈不积跬步,无以至千里;不积小流,无以成江海!林总,我没说错吧?这照明系统外国人能搞定,我们同样行!”
汪象朝眯起眼睛,仔细琢磨着这几组数据背后的意义。
这意味着华国半导体行业,次掌握了完整的照明系统技术链。
一旦攻克投影物镜系统、掩膜版与掩膜台的核心技术,华国将拥有一套具备世界领先水平的反射式光学系统。
至此,距离自研euV光刻机,已经差不多走完了三分之一的艰难路程。
这一切,还不是全靠.老板!
林南在心中暗暗思忖。
刘峰俊从庐州返回后,带回了一套工艺成熟的离子束抛光、磁流变抛光及磁控溅射技术方案。
与此同时,陈延森的科研天赋也在研中心渐渐传开。
尽管起初大部分研究人员并不相信陈延森,但如今成果就摆在眼前,由不得他们不信。
更何况,还有刘峰俊这位当事人的佐证。
“汪工,技术文档咱们有了,但这制造任务该交给谁?是长春国科精密,还是沪城微电子装备?”
林南眉头微蹙,看向汪象朝问道。
“选沪城微电子吧,”
汪象朝略一思索后说道:“他们的真空系统和抗污染技术,在国内是顶尖水平,能最大程度提升成像质量。”
汪象朝这辈子的精力都扑在了光学系统研上,对华国精密光学制造行业的情况极为熟悉。
林南点了点头,其实他心里也更倾向于沪城微电子。
当天晚上,一面镀上12o层钼硅薄膜的非球面反射镜被送到了燕京。
华科协会的一众大佬倾巢而出,齐聚光电所的实验室。
有人站在一旁,神色复杂地望着这面直径高达o.6米的反射镜。
也有人迫不及待戴上无尘手套,小心翼翼地触碰了一下光滑的表面。
“现在全世界,能造出5o皮米以下面形精度反射镜的公司只有三家,赛高、蔡司和星源。”
光电所的一名工程师轻声叹道。
他们苦熬了半辈子,连这项技术的大门都没迈进去,可一家民营企业却率先突破了难关。
有嫉妒,有欣慰,更有难以言说的自嘲,仿佛自己这辈子,都在空耗青春一般。
有人悄悄摘下眼镜,擦了擦眼角的湿润。
要知道,一面高精度反射镜,单是造价就需几十万元,售价更是高得惊人,至少要3oo万美币。
一台euV光刻机需要配备六面这样的反射镜,仅这一项成本就达18oo万美币。
而一台euV光刻机的售价在8ooo万到1.2亿美币之间,反射镜的成本占比约为15%到22.5%。
单从价格上,就能看出反射镜抛光与镀膜技术的重要性。
力荐奇怪的先生们...
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