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白梦瑶接过图纸,看了一下,视线落在屏蔽层标注处,语速平稳却精准:“抗干扰屏蔽层可以用分步光刻+金属沉积工艺实现,线宽误差我们能压到25n以内,不过需要你们提供芯片的三维电磁场模拟数据,避免光刻时磁场干扰光源稳定性。”
她的回答没有多余铺垫,直接切中技术核心,让苏喆衍眼中闪过一丝认可。
他转身点开电脑里的模拟文件:“数据我已经整理好了,你看这个频段的磁场分布,会不会影响你们的euv光源?”
两人凑在屏幕前,一个指着磁场峰值区域分析影响,一个拿着笔在图纸上标注光刻调整方案,连白蒹都插不上话。
直到学校的放学下课铃响了,苏喆衍才回过神,看向白梦瑶的目光多了几分欣赏:“没想到你对军工芯片的特殊需求这么了解,我们之前对接过的几家团队,都没考虑到磁场干扰的问题。”
白梦瑶笑着收起图纸:“刚好在光刻机研发时做过类似的抗干扰测试。后续有技术问题,我们可以随时沟通。”
走出科研楼时,白蒹笑着摸摸妹妹的头,调侃道:“我还担心你们第一次见面没话题,看来是我多虑了。”
白梦瑶想起苏喆衍讨论技术时眼里的光,嘴角不自觉地弯了弯,这个苏喆衍,确实和她很合拍。
这一年里,白梦瑶帮妈妈把安市的老房子卖了,又在首都给妈妈报了老年大学的插花班。
科研上,她跟着吴教授参与3n技术的优化迭代,积累了大量“从实验室到量产”
的实战经验。
晚上回家就进空间继续修炼《幻尘功德经》,她的神识比以前更加强大,她现在已经把书上的该修炼的功法全部融会贯通了,以后只要经常修炼就可以突破。
平时除了签到一直坚持,交换系统几乎都是是盘点十天交换一天,有时候实在太忙就让灵溪她们帮忙交换。
研究生毕业,白梦瑶被保送读博,她的导师居然还是吴教授。
后来,她才知道原来为了当她的导师,学校里的那些老教授都快吵翻天了,最后还是吴教授抢到了当她导师的资格。
这天午后,阳光透过办公室的百叶窗,照在吴教授的办公室桌上的技术文档上,投下了细碎的光影。
吴教授把她叫到办公室,他今天看着很高兴,镜片后的眼睛亮得像有光:“小白,3n总算稳了,我们该冲更高的了。国家刚批了1n光刻机的预研项目,指定要我们团队牵头。你愿意接着当核心成员,跟我一起啃这块硬骨头吗?”
1n制程,这几个字落在耳里,白梦瑶太清楚这意味着什么:这是当前芯片技术公认的“物理极限”
,传统光刻技术在如此微小的尺度下,就像用粗毛笔描绣花针的纹路,几乎没有胜算。
可她脑海里,却清晰浮现出星际时代签到学过的“极紫外光刻+量子隧穿辅助”
技术。
那套远超当下的技术体系,恰好能拆成“现有技术可实现”
的步骤,像一把钥匙,刚好能打开眼前的锁。
但她不能说,她压下心头的波澜,上前接过文书,眼睛扫过“1n预研项目立项书”
的黑体字。
语气沉稳:“吴教授,谢谢您的信任。我愿意接受新的挑战,我初步想,1n的核心难点应该在‘线宽突破’和‘材料耐受’吧?接下来我想先和团队一起梳理现有技术瓶颈,把问题拆解开逐个攻破。”
果然,第一次团队会议就陷入了僵局。投影仪上的ppt定格在“1n技术难点”
页,红色的问号格外刺眼。“1n线路的宽度,也就相当于四个硅原子并排的直径,”
一位头发花白的老教授敲着桌子叹气,“传统euv光刻的光衍射效应,会让线路边缘像晕开的墨,根本达不到精度要求。”
另一位年轻研究员紧跟着补充:“更麻烦的是材料,晶圆在1n尺度下,电子会直接‘穿墙’,也就是量子隧穿效应,到时候电路漏电率根本控制不住。这两个问题,连台积电和三星的团队都卡着呢。”
会议室里的空气沉得像灌了铅,白梦瑶却缓缓抬起头说道:“或许我们可以在现有euv光源基础上,加一个‘量子校正透镜’。用弱量子场抵消光的衍射,相当于给光线装个‘准星’,这样1n线路的边缘就能更清晰。”
惨死的假千金(1n)
“量子透镜?”
老教授皱起眉,“制造精度要求至少是01n级,我们国内的加工技术能做到吗?”
白梦瑶早有准备,把笔记本推到桌中央,上面密密麻麻写着透镜参数和加工厂商的调研结果:“我查了航天科工的超精密加工实验室,他们去年已经能做出误差05n以内的碳化硅透镜,只是需要定制专用磨床,我已经和那边的工程师沟通过,只要我们提供准确参数,三个月就能出样品。”
线路模糊的问题有了方向,量子隧穿的难题又冒了出来。白梦瑶想起星际时代常用的“二维材料涂层”
,话到嘴边换成了另一个说法:“我查了材料学院最新的研究,他们研发的‘石墨烯-氮化硼异质结’,在10n厚度下能形成稳定的电子势垒。如果涂在晶圆表面,既能抑制量子隧穿,又不会影响电路导电。”
怕大家有顾虑,她又补充道:“我前天刚和材料学院的李师兄聊过,他们下周就能提供5片样品,我们可以先做小范围的漏电测试。”
接下来的大半年,实验室成了白梦瑶的第二个家。量子校正透镜的第一次测试,线路边缘误差还是32n,她和团队对着数据熬了两个通宵,把透镜曲率从12调整到118,又将量子场强度下调了15。
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