倍福文学

手机浏览器扫描二维码访问

第455章 浸润式光刻机技术（第1页）

一直沉默不语的林本坚突然说道：“杨总，光刻机的光源一直停滞在193纳米的波长，各大光刻机公司绞尽脑汁，也无法将波长缩短到157纳米，所以我想尝试游说光刻机厂家，另辟蹊径，转换设计理念，把传统的空气为介质的干式微影技术，改为浸润式光刻工艺……”

杨墨心头一动，几乎脱口而出道：“浸润式光刻工艺？”

林本坚连忙解释道：“杨总，浸入式光刻方案并非心血来潮，我在Ibm工作期间，就着手研究过浸润式光刻工艺，我认为以目前的技术条件下，缩短波长的最佳方案就是由干式微影技术转向浸润式！”

“你这个浸润式光刻方案有没有理论支撑？”

杨墨不动声色的问道。

林本坚信心十足的点点头说道：“有！把透镜和硅片之间的介质从空气换成水，由于水的折射率大约为1.4，那么波长可缩短为193纳米除以1.4，就可以一下子把波长缩短到132nm，大大过一直攻克不了的157nm！”

“国际知名学术期刊有没有过这方面的论文？”

杨墨继续问道。

“我自己表过三篇这方面论文，不过收效甚微，没有得到光刻机厂家的重视！”

林本坚有些沮丧的说道。

“那这个方案还跟其它光刻机公司提过吗？”

杨墨呵呵笑道。

“杨总，不瞒您说，在来荷兰之前，我和尼康、东芝方面，就浸润式光刻方案沟通过，想让他们为世大半导体定做一台浸润式光刻机，不过对方兴趣不大……”

林本坚苦笑道。

杨墨沉吟片刻之后，跟保镖说道：“小李，先靠边停车，我们休息会……”

“杨总，您是不是也觉得这事不靠谱？阿斯麦不会为我们定制浸润式光刻机？”

林本坚神色瞬间黯淡下来。

杨墨微笑着说道：“林处长！您放心，只要您对浸润式光刻工艺有信心，即便阿斯麦不愿意为世大半导体定制，我也愿意为你们专门收购一家光刻机公司，来验证你们的想法！”

杨墨的话，让已近花甲之年的林本坚无比动容，有些感动的说道：“杨总，生产一台浸润式光刻机，不仅是收购一家光刻机公司，后续还要投入数以千万美元的研费用，万一这条路走不通，会损失惨重！”

杨墨哈哈大笑道：“致远集团成立至今为止，研失败的项目不计其数，但致远无论资金链怎么紧张，都没有延迟支付过一分钱的研经费……”

杨墨这番话，让张汝京、蒋尚义、林本坚等人听的热血沸腾！

杨墨沉吟片刻之后突然说道：“林处长，把您这个浸润式光刻工艺，以世大半导体的名义申请专利，不管最终这个浸润式光刻工艺能不能研成功，世大半导体都给你一笔丰厚的奖励，怎么样？”

“注册专利？还有丰厚的奖励？”

林本坚有些不相信自己的耳朵，不由得看了张汝京一眼。

张汝京呵呵笑道：“林处长，杨总的话就代表公司的态度！”