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“不信?”
李建昆扫视台下众人,似笑非笑说:“那么我想请问,有没有光学专家……各位所在国家的光学专家,各位所在机构的光学专家,设想过把193nmArF激光光源,扔到非常规的环境中,比如……”
“你不要自作聪明了,谁没有尝试过在特殊环境下做光学实验?”
阿麦斯的沃茨冷笑道。
“直肠子”
哈恩插话进来:“当然有,我试验过把193nmArF激光光源,投入到真空、稀薄空气、纯净或混杂的各种气体元素之中,但无一例外,它还是无法延伸到65nm。”
“水中呢?”
李建昆望向哈恩问。
“这……还真没有。”
哈恩挠挠头。
“为什么不呢?”
李建昆又问。“您不会不懂水的折射现象。”
哈恩盯着他说:“正常人谁会给一台机器‘上’水啊。不过,在做其他领域的光学研究中,我没少做水中实验,激光在水中的表现,并不如人意……那个,您懂我意思吧,通常无法达到我们想要的效果。”
“可是您没有做过193nmArF激光光源,在水中的实验,或许它与众不同呢?”
李建昆顿了顿,道:“当然,实验并不止这么简单,不光要有水,还要包括透镜在内的许多硬件上的支持。如果没有掌握第四代光刻机的技术,我们也无法完成这个实验。
“大家请看。”
他侧过身,抬手,向侧后方的舞台中央示意。
那儿,陈春仙带领团队,已经开始进行实验,某些机器发出不大不小的噪音。
“您的意思是说,193nmArF激光光源,在水中可以延伸到65nm?”
哈恩迫不及待问。
李建昆扭回头,向他看去:“不止是延伸‘到’,193nmArF激光光源,在水中完全可以突破65nm的技术节点,甚至是将光刻机的工艺水平,推进到50nm、40nm、30nm、20nm……”
嚯!
礼堂里哗然一片。
但凡对光刻机略懂皮毛的人,也能明白这番话代表着什么含义。
“各位所想没错。”
李建昆继续说道:“第四代光刻机在光源方面的研究方向,正是193nmArF激光光源,说句或许不太严谨的话,它拥有无限可能,起码能把某公司所谓的65nm技术节点的极限,推进发展一倍开外。”
();() 忽然被点名,明显还带着讥讽的意味,这使得阿麦斯公司的人十分不爽。
沃茨再次跳出来:“信口雌黄谁不会,拿出证据!我觉得你可以下台了,要你何用?我们只需要看实验。”
“不好意思,我不要你觉得。请记住你的身份,?只是客人,别这么不讲礼貌。”
“你……”
又一次被怼得哑口无言。
接下来,李建昆根据老陈提供的实验报告,不紧不慢地讲解起来。
台下有些人听得津津有味,比如哈恩。
有些人不断向周围输出“话谁都会说”
、“这些数据还不是随便他讲”
、“没有亲眼见证实验结果,任何话都是废话”
……诸如此类的话语。
良久,冗长的一份实验报告,李建昆讲完了。
老陈他们的现场实验,也接近尾声。
李建昆侧过身,和全场人一起拭目以待。
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