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“线宽误差过3o纳米,接头电阻飙升到18纳欧!这根本算不上导回路,就是根烧红的铁丝!”
老周将检测报告摔在实验台上,全息投影中“奇美拉”
的能量核心蓝图突然闪烁,标注为“主传导回路”
的银灰色纹路如同缠绕的巨蟒,在三维空间里盘绕出十七处分形节点。
凯正用专用扳手固定光刻设备的激光头,闻言手一抖,扳手在金属台面上磕出清脆的声响。他摘下沾满机油的手套,指腹摩挲着那块刚报废的星晶钢基片——表面蚀刻的纹路如同干涸的河床,在电子显微镜下能清晰看到崩裂的边缘。“旧设备的激光功率波动太大,”
他盯着设备面板上跳动的数值,“回收的这台深紫外光刻机本来是刻芯片的,现在要刻3d立体回路,精度根本跟不上。”
实验室的中央操作台上,铺着三块打磨得如同镜面的导基片,那是用上次合成的星晶钢合金切割而成,每块都薄如蝉翼,边缘泛着淡蓝色的金属光泽。星璃跪坐在操作台旁,指尖悬在基片上方一厘米处,额间的晶体正散着微弱的蓝光:“我能感觉到基片里的能量流动,就像有无数条细小的河流在乱窜。”
她突然蹙眉,“光刻头移动时的振动,让纹路边缘产生了毛刺。”
小林推着数据车过来,屏幕上正显示着回路的设计参数:“蓝图要求三相同轴结构,主回路直径2毫米,分支回路线宽仅8o纳米,接头处必须做圆弧过渡。IteR的磁体馈线接头电阻要求低于5纳欧,我们这玩意儿要传输十倍的灵能,必须控制在2纳欧以内。”
她调出仿真动画,红色的能量流在虚拟回路中奔涌,到分形节点处突然溃散,“上次失败就是节点处的涡流效应太强,把基片烧出了微孔。”
凯蹲下身,盯着光刻机的导轨呆。这台设备是从废弃的空间站拆解来的,导轨上还留着陨石撞击的细微划痕,运行时的振动幅度达到5o纳米,刚好是允许误差的两倍多。“得加个主动减震系统。”
他突然起身冲向备件库,回来时抱着一堆钛合金薄片和压电传感器,“把这些贴在导轨上,用灵能信号控制减震频率。”
星璃立刻明白了他的意图。当凯用环氧树脂将传感器固定在导轨侧面时,她将灵能流注入传感器的接线端,淡蓝色的光芒顺着导线蔓延,在导轨表面形成一层无形的缓冲层。“现在振动幅度降到12纳米了!”
小林盯着激光干涉仪的读数,兴奋地喊道。
但真正的挑战在光刻启动后才显现。当深紫外激光穿透掩模板,在基片表面刻出第一道纹路时,屏幕上的线宽监测曲线突然剧烈跳动。凯死死按住操作台边缘,看着纹路从标准的8o纳米逐渐变宽到11o纳米——基片在激光加热下产生了热变形,就像被烤软的塑料膜。
“暂停!”
星璃突然出声,灵能场瞬间包裹住整个基片。透过显微镜能看到,淡蓝色的灵能流如同细密的针脚,将微微鼓起的基片重新压平,线宽曲线慢慢回落到正常范围。“必须实时补偿热变形,”
她的声音带着一丝疲惫,额间的晶体亮度明显减弱,“每平方厘米需要注入o.3单位的灵能。”
凯立刻修改程序,将灵能耦合器的信号接入光刻系统的反馈模块。当激光再次启动时,星璃的指尖随着光刻头同步移动,灵能流如同无形的刻刀,精准地修正着每一处细微的变形。小林紧盯着电子显微镜,线宽误差稳定在25纳米以内,她长舒一口气:“至少能通过初步检测了。”
然而在刻蚀到第七个分形节点时,意外突然生。光刻头的激光功率毫无征兆地暴涨,基片表面瞬间冒出一缕青烟,原本平滑的纹路被烧出一道焦黑的缺口。星璃惊呼一声,灵能流猛地回缩,额间的晶体泛起刺眼的红光,她踉跄着后退两步,扶住墙壁才稳住身形。
“功率放大器烧了!”
凯扯开设备外壳,里面的电路板已经烧成了焦黑色,“这破设备根本扛不住长时间高功率运行。”
他一拳砸在设备上,指节泛起白痕,“只剩下最后一块基片了,再失败就只能等下次采矿。”
老周抱着一个锈迹斑斑的金属盒走进来,里面装着几块巴掌大的氮化铌晶体:“拆了三台报废的磁控管,就剩这点能用的导材料。”
他将晶体扔给凯,“康奈尔大学用3d打印做过氮化铌导体,多孔结构能提升临界磁场,或许能掺进基片里增强耐热性。”
凯眼睛一亮,立刻动手打磨晶体。星璃靠在椅背上休息,指尖还在微微颤抖。刚才的灵能过载让她眼前黑,脑海里全是回路崩裂的画面。“我刚才感觉到能量在节点处打转,”
她突然开口,“就像水流遇到礁石,冲击力全落在一个点上。”
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