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第253章 进度 拆解计划（第1页）

辉腾车驶入深蓝半导体厂区时，机械轰鸣声比上次来时更显密集。

只不过，出声音的位置却是在另一栋生产楼。

在王世杰的安排下，施工队已经在对另一栋生产楼进行改造。若是以后购买新的光刻机，就可以直接进行安装调试了。

而已经安装完光刻机的那栋楼，内部几乎没有声音出。

楚千澜刚走进生产楼，就看到王世杰穿着蓝色防护服，从光刻区洁净室快步走出，脸上带着掩不住的兴奋。

“楚总！18onm制程的芯片产线全部安装完毕，昨天已经完成单机调试，各项参数基本达到预期标准！”

王世杰迎上来，递过一份打印好的调试报告。

楚千澜接过调试报告，目光快扫过关键数据栏：“光刻胶涂覆均匀度98.5%，曝光精度误差±o.o18微米，蚀刻率稳定性97%……参数比预期还要好。”

他抬头看向王世杰，语气带着几分赞许：“你们调试时遇到的最大问题是什么？后续量产前还需要解决哪些隐患？”

王世杰揉了揉眉心，语气带着一丝庆幸：“最棘手的是离子注入机的束流稳定性，刚开始误差过3%，张北光团队连夜优化了磁场校准参数，才将误差控制在1.2%以内。

至于隐患，主要集中在洁净室的温湿度波动上。光刻区白天与夜间的温差会导致工作台轻微形变，虽然现在误差在允许范围，但长期量产可能影响良率，我们计划加装恒温恒湿精密控制系统。”

楚千澜跟着王世杰走进洁净室走廊，透过观察窗，能看到几名工程师正围着光刻机调试软件参数，屏幕上跳动的数据流在昏暗环境中格外醒目。

两人沿着洁净室走廊继续前行，来到蚀刻区时，几台等离子蚀刻机正处于待机状态，机身侧面的显示屏上跳动着实时压力和气体流量数据。

“蚀刻环节的参数调试还算顺利，”

王世杰指着设备，“我们用测试硅片做了十组实验，线宽均匀度能稳定在±o.o2微米，符合18onm制程要求。”

楚千澜停下脚步，扫视了一下设备，并没有做出评价。

直到二人看完所有生产设备，他才开口问道，“这条产线什么时候联机调试？大约什么时间能交付使用？”

王世杰眼中闪过一丝期待：“联机调试计划下周一启动，我们准备先用测试硅片跑三批完整流程，重点验证各设备间的数据交互和工艺兼容性。

按目前进度，若联机调试顺利，本月下旬就能完成产线验收，月底前可以开始试生产。”

楚千澜目光落回光刻机方向：“虽然我们希望尽快完成调试，但也要保证设备的稳定性！

试生产阶段，先聚焦电源管理芯片，这是我们自己研的产品，更能快验证产线稳定性。另外，以后正式生产后，也会生产这种芯片。”

作为楚千澜旗下，唯一可以正大光明生产的芯片，他自然要将订单放到自家公司。

王世杰重重点头：“明白！电源管理芯片的工艺参数，我们已经和星源探索的陈文州团队对接，试生产时会优先安排。

而且张北光团队还整理了设备维护手册，后续量产时，每个环节都会有专人负责巡检，确保良品率稳定。”