倍福文学

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第429章 拦路虎（第1页）

江州，启明防务技术研究院，地下三层绝密会议室。

空气中弥漫着紧张的味道。

坐在林远对面的，是尼康精密机械部门的前本部长，山田光一。他身后跟着三个头发花白的日本老头，都是尼康光系的骨灰级专家。

山田光一将一个沉重的钛合金手提箱放在桌上，解锁，打开。

里面是一块硬盘，和一本厚厚的纸质蓝图。

“林先生，”

山田的声音低沉，“这是尼康秘密研发了五年的NA0.55投影物镜系统设计图。”

“ASML的EUV光刻机，NA数值孔径只有0.33。而我们这个，是0.55。”

“理论上，配合你们的计算光刻技术，它可以让DUV光刻机的分辨率极限，推进到3纳米。”

“这是尼康最后的赌注。也是我们反击ASML的唯一武器。”

王海冰戴着手套，翻开蓝图。只看了几页，他的手就开始颤抖。

“这……这太疯狂了。”

“物镜组总长2.5米，最大镜片直径0.8米，总重量1.5吨？”

“这哪里是显微镜，这简直是天文望远镜！”

“是的。”

山田点头，“为了在193nm波长下实现0.55的NA，我们必须把镜子做得巨大，以收集更多的衍射光。”

“但是，”

山田话锋一转，眼神黯淡，“我们造不出来。”

“为什么？”

林远问。

“三个原因。”

山田伸出三根手指，像是在历数家珍般的绝望。

“1.材料封锁，这种尺寸的透镜，不能用石英，必须用氟化钙单晶。因为只有萤石在深紫外波段下吸热少，热透镜效应低。但是，全球能生长这么大尺寸萤石晶体的，只有德国肖特和美国康宁。他们对中国和叛变的尼康，断供了。”

“2.加工极限：镜片太大了，自重导致的重力塌陷达到了微米级。而我们的面型精度要求是0.5纳米。这意味着，我们要在镜片弯曲的状态下，把它磨平。这需要磁流变抛光技术。尼康没有这种设备，那是美国QED公司的专利，严禁出口。”

“3.计量黑洞：就算造出来了，我们没法测。要测量0.8米口径、0.5纳米精度的非球面，需要巨型的计算全息干涉仪。这东西，只有美国Zygo公司能做。同样，禁运。”

“林先生，”

山田看着林远，“图纸我给你了。但如果你解决不了这三个问题，这就是一堆废纸。”

林远看着那张蓝图。

巨大的透镜组像一座复杂的玻璃塔，精密，脆弱，且沉重。

“既然图纸有了。”

林远合上箱子。

“那我们就从石头开始造。”

内蒙古，赤峰。

这里是中国最大的萤石矿产地。

林远没有去德国求肖特，也没有去美国求康宁。他直接带着李振声教授和汉斯，杀到了矿山。

“萤石，化学成分CaF2。”

李振声看着满山的石头，“中国储量世界第一。但是，要做成光刻机镜头，需要生长出超低应力、超高均匀性的大尺寸单晶。”

“难点在于热应力。”

“萤石导热性极差，且脆性极大。在晶体生长过程中，如果炉内温度梯度稍微大一点，晶体内部就会产生内应力，导致双折射效应。”

“光通过有应力的晶体，会发生偏振旋转，这就毁了成像质量。我们需要一个完美温场。”