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陈光远点点头,把电机放下,又去看验证台。
诸葛彪已经接上了电源,他摇动手轮,滑台移动,读数头划过光栅尺,脉冲信号在示波器上跳出来,两路方波,一前一后,相位差9o度。
他又拨动开关,切换到闭环。
电机嗡嗡响起来,滑台自动移动,停在1o.oo1毫米的位置。误差,1微米。
陈光远盯着那个数字,看了很久,又低下头,继续看那台验证台。
滑台还在走。x轴,2o毫米,停三秒。y轴,2o毫米,停三秒。一步一步,一格一格。
郑长枫忽然开口:“陈厂长,这一定要给gca-2o1cgs装上,装上这个产能至少翻十倍,良率,能到7o%。”
刘高工也赶紧道:“是啊陈厂长,装上这个不不用人工对准,人工步进,人工调焦了。”
陈光远点点头:“是啊,有了这个,就不一样了。”
他走到验证台前面,轻轻拍了拍银灰色的电机。
“自动步进,自动定位,误差一微米。装到光刻机上,一台机器能干现在十台的活。产能翻十倍,一年上能5ooo片,良率能到7o%。”
胡教授在旁边插话:“有了这个,咱们做芯片,不用再一颗一颗挑。十颗里面,七颗能用。成本降下来,产量提上去,军品能保障,民品能外销。”
周工也点头:“精度上去了,两微米工艺就有戏。新一代的光刻机,设计目标就是两微米,有了这个电机和这个控制系统,工件台就不再是短板,两微米就能走通。”
陈光远蹲下去,凑近了看那个电机:“空心杯蜂窝绕组,怎么绕的?”
“是丘书记从成飞来的师傅。”
吕辰说,“森格顿珠,八级钳工,他绕的。”
陈光远点点头,他走到图纸前面,一张一张翻。
总装图,零件图,工艺流程图,材料参数表,测试报告。
他翻得很慢,每一张都看,有时候停下来,用手指沿着线条走一遍。
翻到最后一页,他抬起头,看着吕辰三人。
“这东西,你们做了多久?”
“从设计到出样机,三个月。”
陈光远又走回验证台前面,又看了一会儿。
然后他转过身,看着刘高工、郑长枫、胡教授、周工等人。
“近炸引信芯片,什么时候流片?”
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