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第467章 给星河装上眼睛(第4页)

他走到一个白板前面,拿起笔,写下第一行字:关键尺寸测量。

“咱们现在的设计规则是5微米。”

他转过身,“但5微米到底做出来是多少?光刻机有误差,刻蚀有偏差,最后留在晶圆上的线宽,可能是5.2,也可能是4.8。”

他拿起另一块芯片,是没煮开的,指了指表面那些看不见的线条。

“如果只有4.8,再加上一点点毛刺,两条线就挨上了。挨上了,就是短路。”

他看着文昭南:“文教授,能不能量一下那条线的实际宽度?”

文昭南点点头,把图像移到一片金属走线密集的区域,调好焦距。

电镜上有刻度,可以手动测量。

他量了一条线,又量了旁边的间距。

“线宽,4.9微米。”

他报出数据,“间距,5.1微米。”

吕辰点点头:“看,设计是5微米,做出来是4.9。如果工艺再偏一点,就是4.8,间距就只剩4.7。两条线离得越近,越容易搭上。”

陈光远点了点头:“不错,有了了这个电镜,我们就不用等片子做完,上电测了。以后每一批片子,抽几颗切开来量一量,就知道工艺漂移了多少,是往宽了漂还是往窄了漂。”

吕辰点点头:“这叫工艺监控。”

他顿了顿,又写下第二行字:形貌观察。

“刚才那个击穿点,就是形貌观察。”

他指着屏幕上那个焦黑的熔坑,“你们看,这个坑,周围还有烧焦的痕迹。这说明什么?说明击穿的时候,能量很大,瞬间把硅烧化了。”

他又让文昭南把图像移到另一个地方,那里有一条细细的“桥”

,连接着两条本该分开的金属线。

“再看这个短路的地方。”

他指着那条桥,“不是一整片连在一起,就是一根头丝那么细的东西搭上了。这种桥是怎么形成的?可能是刻蚀没干净,可能是颗粒掉上去,可能是氧化层长了针孔。”

他抬起头,看着众人。

“不同的缺陷,有不同的形貌特征。通过电镜观察,可以把缺陷分类。是工艺问题,比如刻蚀残留;还是环境问题,比如颗粒污染;还是材料问题,比如位错。”

“分类清楚了,改进的方向就清楚了。”

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