倍福文学

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第453章 中试（第2页）

在洁净区，换了洁净服、戴上口罩帽子。

进入实验区，看着中试线简陋的场景和设备，吕辰心里有些感慨。

当初，他们在这里打七只老虎，为63o5厂的产线建设定下了最终的方案。

如今这里成了集成电路实验室自己的实验线。

但这里才是真正的“摇篮”

，所有的新芯片，都是先在这里试制成功，才会把工艺文件交到63o5厂去批量生产。

三人找到柳工，他是中试线的负责人，也是光刻环节的大师傅，说话慢条斯理，但手上功夫极稳。

吕辰把底片交给柳工：“柳工，这就是高频脉冲电机的底片。”

柳工接过那四张底片，对着光看了看：“这套版图做得挺规矩的，至少要两个星期，才能出结果。”

吕辰点头：“麻烦柳工了。”

“不麻烦，我去忙了，你们自便。”

说完柳工就走了。

三人在车间里转了起来，中试线的光刻机，是gca-2o1cgs的原型机，或者说是实验机、验证机，算是国产第一代，接触式光刻，废物再利用，成了这条中试线的核心。

三人特意看了进给系统的摇柄，果断换成了轮式手柄，边缘滚花，握在手里应该很舒服。

手柄连接着一个蜗轮蜗杆减机构，轻轻转一圈，工作台就移动一个微小的距离。

“这就是陈志国做的？”

吕辰和钱兰好奇。

诸葛彪笑道：“对，就是这个。要说，志国这小子是真的眼里有活。咱们所里那么多人，都是搞自动化出来的，但是就没人关注这个细节，他一眼就看出来了，车了这个环形柄，质量上基本做到了完全对称，解决了杠杆原理带来的漂移。”

他走过去，握住那个轮式手柄，轻轻一转。

工作台缓缓移动，顺滑得像抹了油。

“以前那个杠杆手柄，进给到位后不能松开，松开就自自动。”

钱兰叹道，“也就是柳工这样的人，才能拿着那个手柄一点都不抖，稳住5微米这样的极限操作。”

旁边一个研究员插话道：“柳工这机械手是公认的稳，他以前专门做材料分析，右手操作显微镜，左手夹着一支烟，从头烧到尾，烟灰都不掉。”

他指着光刻机：“就这种，他想进多少进多少，想退多少想退多少，稳得很。”

诸葛彪又试了试，啧啧称奇：“这手感，的确跟调显微镜一样。”

正说着，柳工安排完工作回来。

钱兰指着那个轮子问：“柳工，听说用那个杠杆摇柄用了半年，谁都没告诉？”