倍福文学

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第449章 曝光场（第5页）

三个人都笑了。

正扯着闲，方教授走了进来，脸色不太好。

三人起身打招呼。

吕辰道：“方教授，您怎么来了？快请坐。”

方教授一脸疲惫，摆摆手道：“不坐了，我来找你，是有个事想让你看看。”

“方教授，您说。”

方教授叹了口气：“长光所那边在研gca-2o1cgs的下一代产品，我们工业监测实验室，接了个任务，需要想办法看到光刻机的曝光场景。”

吕辰三人对视一眼：“看到曝光场景？什么意思？”

方教授从兜里掏出一个小本本，翻开。

“光刻机曝光的时候，掩模版上的图案，要通过镜头投影到硅片上。这个过程，肉眼看不见。因为曝光时间很短，而且光刻胶对光敏感，不能拿眼睛直接看。”

他抬起头：“但设计师想知道，曝光的时候，图案到底是怎么落在硅片上的？有没有畸变？有没有衍射？有没有杂散光？这些问题，用理论计算能算个大概，但算不准。”

吕辰点点头：“所以你们想直接看？”

“对。”

方教授说，“我们构建了一个思路，用一条纯净的玻璃丝，把曝光台的光信号引出来。然后用一个增强管，把光子、甚至是红外辐射，转换成电子。电子经过高压电场加，撞击微通道板，产生倍增效应。一个电子，变成成千上万个电子。电子再轰击荧光屏，重新变成光。这样，图像就被放大了几万倍。”

吕辰听着，脑子里飞快地转着。

玻璃丝传光，光电转换，电子倍增，荧光屏显示……

这不就是微光夜视仪吗？

方教授继续说：“验证机做出来了，但是突然遇到一个问题。我们模拟了gca-2o1cgs的曝光台，用那个增强管去看，只能看到雪花。曝光的时候，又是一片白光。等曝光结束，又变回雪花。”

他看着吕辰：“小吕，我苦思了很久，也不知道问题出在哪儿。十几万经费，就这么打水漂了。”

吕辰沉默了几秒。

然后他站起来：“方教授，您那验证机，能让我们看看吗？”

方教授也站起来：“可以，就在我们实验室。”