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第447章 高频脉冲电机（第5页）

吕辰说：“刘工，你们的微波探伤技术，其实也可以用来做位置反馈。微波的波长很短，如果能做出一个微波干涉仪，精度可能比激光还高。”

刘建国眼睛一亮，想了想，又皱起眉头：“但微波设备体积大，功耗高，装在这么小的系统里，怕是够呛。”

吕辰说：“可以先从光栅尺开始。等微波技术成熟了，再换也不迟。”

秦世襄放下笔，看着吕辰画的图，沉默了好一会儿。

然后他抬起头，说：“吕辰，你这个想法，技术上可行，但难度极大。磁浮、高频、闭环控制、新材料、新工艺……每一个环节，都是硬骨头。”

吕辰说：“我知道。但如果不啃这些硬骨头，光刻机的精度就永远上不去。我们做集成电路的，工艺越做越细，从五微米到两微米，再到一微米，对光刻机的要求越来越高。现在的gca-2o1cgs，已经是极限了。再不突破，后面就没路走了。”

秦世襄点点头，叹了口气：“你说得对。”

郑长枫在旁边听着，忽然开口：“吕辰，你说的那个磁浮电机，太遥远了。我有个想法，不知道行不行。”

吕辰看向他：“郑老师您说。”

郑长枫拿起笔，在纸上画了一个简单的示意图。

“咱们别一步登天。先利用现有的晶振和脉冲电机技术，搞一个‘晶振同步高频脉冲电机’。”

他一边画一边解释：“电机还是普通的步进电机，轴承也是普通的。但驱动它的脉冲信号，不是由普通的振荡电路产生，而是由石英晶体产生。晶振的精度，比普通振荡电路高好几个数量级。这样一来，电机的每一步，都由晶振精确控制。虽然机械结构没变，但精度能提一大截。”

吕辰听着，眼睛亮了。

郑长枫继续说：“这个方案的好处是，不用等磁浮技术，不用等新材料，不用等新工艺。现有的脉冲电机，现有的‘掐丝珐琅’电路板，稍微改改就能用。咱们先把gca-2o1cgs上的那个手动进给换了，让操作员不用再憋着气干活。这一步做到了，良率就能提上来。”

秦世襄点点头：“郑老师这个思路务实。”

郑长枫说：“第一步做成了，再考虑第二步。第二步，做一个‘管状直线电机’。”

他在纸上画了一个圆筒，又在圆筒里画了一根轴。

“定子做成一个圆筒，里面绕上线圈，像炮管一样。转子就是一根轴，上面嵌有永磁体，或者像感应电机那样的鼠笼条。通过石英晶体控制通入线圈的交流电频率，产生行波磁场。这根‘炮弹’就在磁场里悬浮着，往前直线运动。”

他抬起头，看着三人：“这不就直接驱动工作台了吗？彻底扔掉丝杠！什么背隙、磨损、振动，全没了。而且，因为是直线运动，不需要任何转换机构，精度比旋转电机加丝杠高得多。”

刘建国一拍大腿：“郑老师，你这个思路好！两步走，第一步保眼前，第二步谋长远。”