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相关的人,说话也方便。
郑长枫说:“现在63o5厂的产线,算是跑起来了。听风者一号芯片,就是那个用在‘电子耳朵’上的tFZ-1,良率已经能到37%左右。二维卡读卡机的芯片ek-1,能做到48%。就是红星一号的hx-1,最差,只有29%。”
秦世襄皱起眉头:“差距这么大?”
郑长枫叹了口气:“hx-1集成度最高,对工艺的要求也最高。光刻、扩散、金属化,哪一道出点问题,良率就往下掉。”
刘建国问:“主要卡在哪儿?”
郑长枫说:“光刻。gca-2o1cgs那台光刻机,进给是靠低电机带动丝杠。操作员得屏住呼吸,一丝颤抖都不行。我们经常在电视监视器上看着,那个线条,一会儿清楚一会儿糊的,全看操作员的手稳不稳。”
秦世襄点点头:“光刻机的精度,确实是瓶颈。”
吕辰听着,心里一动:“秦教授,郑老师,刘工,我有一个想法,你们听听看。”
三人看向他。
吕辰说:“郑老师说的这个问题,光刻机的进给精度,全靠操作员的手稳。但人的手再稳,也是有限的。能不能用技术手段,把这个进给变成自动的,高精度的?”
秦世襄眼睛一亮:“你说说看。”
吕辰拿起一支笔,在纸上画了一个简单的示意图。
“这是光刻机的工作台。现在的驱动方式是电机带动丝杠,丝杠推动工作台。这个方式的精度,取决于电机的转控制、丝杠的加工精度,还有传动过程中的间隙。”
“我的想法是,用石英晶体技术把这个电机升级一下。”
秦世襄愣了一下:“石英晶体?你继续说。”
吕辰点点头:“石英晶体的核心特性,是压电效应,给它施加电场,它会产生极其稳定的机械振动。这个振动的频率,取决于晶体的切割角度和厚度。”
秦世襄点点头:“有想法,石英晶体的每一次振动,都可以看作是一个精确的‘步进’。如果能把这个振动转换成机械位移,那理论上,晶体的每一次振动,都对应着工作台移动一个微小的距离。你是想用石英晶体产生的高频信号,来控制一个电机?”
郑长枫问道:“那本质是还是一个电机啊,和低电机有什么区别?”
吕辰道:”
郑老师,那如果我们做一台磁浮的电机呢。”
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