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第421章 电镜关卡(第1页)

1965年1月19日。

吕辰站在63o5厂动力中心的楼顶,手里夹着一只大前门,望着远处1号厂房灰白色的外墙。

燕山吹来的北风,刮得人脸生疼。

他在这里站了快十分钟,烟卷在指间燃尽,烫了手指才回过神。

楼下,管廊工地的焊光还在闪烁,工人们裹着军大衣,在零下十三度的寒风里铺设最后一段特种气体管道。

焊接的青烟被风撕成碎片,转眼散尽。

一切都在按计划推进。

光刻机初步调平,长光所王工的团队在洁净区,像伺候瓷器一样伺候那台机器,每天进门前要过三道风淋,手套换三双。

涂胶显影机的第一组模块前天运抵,正在开箱验收。

哈工大包康健教授派来的三位工程师蹲在箱体旁,用水平仪一点一点找基准,忙了整整两天,还没敢往基座上落。

扩散炉的炉体已经到了北京站,押运员打来电话说,铁路调度出了点问题,要晚两天才能送进厂。

动力中心的王工程师正在和运输科扯皮,声音从电话听筒里穿透出来,整个调度室都听得见。

纯水系统的终端已经完成哈氏合金管件更换,第一批试运行的水样送去分析,电阻率18.2,达标。

一切都在向前走。

但有一件事,静得像冻住了。

吕辰从楼顶下来,来到厂办指挥部办公室,拨通了真空所的电话。

总机转了快三分钟,才接到顾赟的分机。

“顾工,我是吕辰。”

电话那头沉默了两秒。

“吕工。”

顾赟的声音很轻,像压着什么东西,“你……是为电镜的事?”

“样机怎么样了?”

又是一阵沉默。

吕辰听见电话那头有人走动,门关上的声音,然后是顾赟压低了的、几乎是从牙缝里挤出来的话:“样机做出来了。”

他顿了一下:“但是……效果差太远。”

“差多少?”

“设计指标是1oo埃。我们测了三轮,最好的结果是5oo埃。”

顾赟的声音紧,“文教授、吴教授、林教授、李总工……已经一个月没怎么合眼了。昨天晚上吴教授在示波器前面坐着,坐了两个小时,什么都没说,后来我扶他回去休息,他血压都到一百八了。”

吕辰握电话听筒的手指节节泛白。

“我知道了。”

挂掉电话,吕辰闭上眼睛。

芯片制造,是看不见摸不着的工艺。

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