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第414章 产线建设忙（第2页）
“如果只用sc-1、sc-2这些碱性清洗液，316L没问题。”
王工指着工艺流程图，“但您看，咱们未来可能要引入稀氢氟酸清洗步骤，用来去除自然氧化层。那时候ph值会降到2以下，温度也会提到8oc以上……”
王工的担忧不无道理。
芯片制造中，清洗是最基础也最关键的步骤。
硅片表面的一个原子层厚的污染，就可能导致整批芯片失效。
而清洗液的纯净度、容器的材料兼容性，是这一切的基础。
“换。”
吕辰做出决定，“把所有可能接触酸性介质的管路、阀门、罐体，全部升级材料清单。我下午就去找李厂长批外汇。”
“但交货期……”
“分步实施。”
吕辰思路清晰，“第一批，先把终端过滤器和喷淋头这些最关键的部位换了。其他的，在dhF工艺正式导入前完成替换。这中间有缓冲时间。”
王工点点头：“也只能这样了”
。
两人又讨论了几处细节，吕辰才继续往前走。
走出管廊，冷风扑面而来。
1号厂房已经完成外部封闭。浅灰色的混凝土外墙显得厚重而沉默，那一排排高大的竖窗玻璃已经安装完毕，深灰色的窗框像巨兽的肋骨，整齐排列。
厂房门口，十几名工人正在调试特制的双层密封门。
外层钢制门板厚达十五厘米，内层是带橡胶密封条的防火门。
门框四周，已经预埋好了气密检测传感器的接口。
“压力测试做了吗？”
吕辰问门口的技术员。
“昨晚做了第一次正压测试。”
技术员翻看记录本，“门内加压到5o帕，十分钟后压力下降不过5帕，气密性达标。但……”
他顿了顿：“防火门的自动闭合装置有点卡滞，机械组的师傅正在调。”
两名老师傅蹲在门轴旁，手里拿着千分尺，正在测量铰链的间隙。
其中一人头花白，是厂里从钢请来的八级钳工，姓周。
“周师傅，什么问题？”
周师傅抬起头，眼镜滑到鼻尖：“门太重，自重一吨二。常规的闭门器力度不够，得改。”
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